في مرحلة الطباعة بالليثوغرافيا، فإن عملية تسخين المادة الحساسة للضوء ليست مجرد اقتراح، بل هي شرط أساسي. أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية قد يؤثر سلبًا على دقة التحكم في الأبعاد الحرجة، كما أن عدم توحيد درجة الحرارة في المناطق الحرارية قد يؤثر سلبًا على جودة المنتج النهائي. لذلك، نحتاج إلى جهاز تسخين يعمل بكفاءة مماثلة لتلك المستخدمة في الأجهزة الأصلية، دون أن يكون مرتبطًا بمورد واحد فقط.
نحن نصنع أجهزة تسخين بالأشعة تحت الحمراء مخصصة للتحكم في درجة الحرارة على مستوى الرقاقات، وذلك لتسخين المادة الحساسة للضوء بشكل فعال. يمكن لهذا النظام الحفاظ على توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن دقة التحكم في درجة الحرارة مرتفعة جدًا، مما يساعد في الحفاظ على جودة المنتج. نستخدم أجهزة إصدار الأشعة تحت الحمراء لأنها تنقل الطاقة مباشرة إلى الرقاقة، مما يجعل الاستجابة سريعة، مع تأخير ضئيل بين إصدار الأوامر والحصول على النتائج.
المعدات متوافقة مع بيئات العمل من الفئة 1 إلى 100، كما أن جميع واجهات الاتصال مصممة بحيث لا يحدث أي تكون للجسيمات. يتم تحديد كثافة الطاقة والجهد والأبعاد بحيث تتناسب مع متطلبات الغرفة والموصلات، مما يسمح باستخدامها كجزء من النظام الحراري دون الحاجة إلى إعادة التصميم.
نقوم بتحقق من أداء الأجهزة وفقًا للمعايير الدولية لمعدات أشباه الموصلات، ونوفر بيانات القياسات مثل خرائط التوحيد في درجة الحرارة ووقت التسخين واستقرار الأداء تحت الأحمال، حتى يمكن تتبع أداء الأجهزة بدقة، وليس بشكل تقريبي. النتيجة: أداء مستقر في عملية التسخين، وانخفاض في هدر المواد، بالإضافة إلى إمكانية التخطيط لفترات الصيانة بشكل دقيق.
عملية التركيب بسيطة، لكن يجب اعتبار واجهة التوصيل نقطة تحكم حرجة. يجب التأكد من توافق الأجزاء الميكانيكية وضغط الواصلات للحفاظ على ختم محكم، فحتى أصغر تسربات قد تؤثر سلبًا على أداء الأجهزة. يجب التخطيط لجلسة اختبار قصيرة لضبط إعدادات الجهاز بشكل صحيح.