في قسم التصنيع، وقبل مرحلة التغليف مباشرة، يخرج الرقاقة من عملية التنظيف النهائية، ويبدأ الوقت في العمل. أي رطوبة متبقية على سطح الرقاقة يمكن أن تؤدي إلى مشاكل مثل الفجوات والانفصال بين طبقات الرقاقة، بالإضافة إلى انخفاض جودة الرقاقة. حتى أدنى تغير في درجة الحرارة قد يؤثر سلبًا على جودة الرقاقة، ويقلل من دقة العمليات المستخدمة في تصنيعها. لذلك، من الضروري استخدام طرق تجفيف دقيقة للغاية، بحيث تتماشى مع خطوات التغليف.
ما هو مهم في عملية التجفيف؟ نحن نحافظ على توزيع درجات الحرارة بدقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية على كامل سطح الرقاقة، كما أن دقة الإعدادات تظل ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية. تستخدم أجهزة التسخين أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، مع نوافذ من الكوارتز لنقل الطاقة بشكل فعال، بالإضافة إلى عناصر مصنوعة من الألياف الكربونية لضمان الاستقرار الميكانيكي. في غرف التصنيع من الفئة 1-100، يبقى عدد الجسيمات أقل من 0.1 جسيم لكل سم مربع عند حجم 0.1 ميكرومتر.
تظل جودة الرقاقة ثابتة لمدة 5,000 ساعة أو أكثر، مع انخفاض في شدة الإضاءة بنسبة لا تتجاوز 5%. يتم التحكم في العملية باستخدام نظام SECS/GEM، ويتم تصميم النظام للعمل على مدار 24 ساعة في اليوم.
لماذا يناسب هذا النظام مرحلة ما قبل التغليف؟ تم تصميم هذا النظام خصيصًا لعملية التجفيف قبل التغليف. تكون عملية رفع درجة الحرارة سريعة، مما يقلل من وقت العملية دون التأثير على دقة التجفيف. عدم وجود جسيمات على سطح الرقاقة يحافظ على نظافتها، كما أن التوزيع المتساوي لدرجات الحرارة يحمي خصائص الرقاقة التي تم تحديدها خلال عمليات التجفيف.
يقل استهلاك الطاقة لأن أجهزة التسخين تصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة وتحافظ عليها ثابتة، دون أي تذبذبات. النتيجة: عدد أقل من عمليات إعادة التصنيع، وأبعاد أكثر استقرارًا، بالإضافة إلى إمكانية التخطيط لمعدلات الإنتاج بشكل أفضل.
ما الذي يلزم لتشغيل النظام؟ يجب استخدام مصدر طاقة بجهد 208–240 فولت، بالإضافة إلى هواء نظيف وجاف بضغط 4–6 بار. حجم الجهاز صغير، لكن يجب ترك مساحة حول نوافذ الكوارتز لتسهيل عملية التهوية والوصول إلى الجهاز. يمكن ربط الجهاز بأجهزة التعامل مع الرقاقات بسهولة، لكن يجب إجراء اختبارات أولية لضبط الإعدادات والتأكد من توافق الجهاز مع الرقاقات.
يُتوقع أن يستغرق عملية التكامل أسبوعين، بما في ذلك ضبط إعدادات النظام باستخدام نظام SECS/GEM.