ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেক বা ওয়েফার ড্রাইংয়ের সময় তাপীয় পরিবর্তনগুলো কেবলমাত্র একটি সমস্যা নয়; এগুলো ওয়েফারের গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলোকে পরিবর্তন করে দেয় এবং উৎপাদন ক্ষমতাকে কমিয়ে দেয়। আমরা TEL হিটার ল্যাম্প তৈরি করেছি, যা প্রক্রিয়ার তাপমাত্রাকে ধ্রুবক রাখে।
কী কারণে এটি উপযুক্ত?
এটি উচ্চ-শুদ্ধতার কোয়ার্টজ কভারের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন এমিটার ব্যবহার করে; এর সাথে ক্লোজ্ড-লুপ কন্ট্রোল সিস্টেমও রয়েছে। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে। প্রতিক্রিয়া দ্রুত হয়; ফলে সফট বেক ও হার্ড বেকের সময় তাপমাত্রা অতিরিক্ত হয় না।
ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমগুলোতে…
কণা উৎপন্ন হওয়া অপরিহার্য। এই ডিজাইনটি হাজার হাজার তাপীয় চক্রের পরেও কণার সংখ্যাকে স্থিতিশীল রাখে। 5,000+ ঘণ্টা ধরে এটি কার্যকর থাকে; তাপীয় পরিবর্তন 5%-এর নিচে থাকে।
কেন এটি প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় তাপীয় নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। এই ল্যাম্পটি সফট বেক ও হার্ড বেকের জন্য নির্ভরযোগ্য তাপমাত্রা সরবরাহ করে; ফলে অপচয় কমে যায় এবং CD নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়।
ওয়েফার পরিষ্কার ও শুকানোর ক্ষেত্রে…
এটি ওয়েফারের পৃষ্ঠের আর্দ্রতা দূর করে; কিন্তু তাপীয় চাপ সৃষ্টি করে না। ফলে কম খরচে দ্রুত কাজ করা যায়। প্যাকেজিংয়ের ক্ষেত্রে এটি ইনক্যাপসুলেন্টগুলোকে দ্রুত ও সমানভাবে শুকিয়ে দেয়; ফলে ওভেনের সময় কমে যায় এবং শক্তি খরচও কমে যায়। ফলাফল: কম পুনর্কাজ, ভালো SPC এবং নির্ধারিত সময়সীমা বজায় থাকে।
ব্যবহারিক বিবরণসমূহ…
এই ল্যাম্পটি স্ট্যান্ডার্ড TEL প্ল্যাটফর্মে ব্যবহৃত হয়; কানেক্টর ও মাউন্টিং ব্যবস্থাও রয়েছে। কিন্তু ল্যাম্প ও ওয়েফারের মধ্যকার দূরত্ব অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ; ইনস্টলেশনের সময় এটা যাচাই করতে হয়।
আউটপুট স্থিতিশীল হতে কিছুটা সময় লাগে; তাই কোয়ালিফিকেশনের আগে নিয়ন্ত্রিতভাবে ওয়ার্ম-আপ করা উচিত। এমিটারের জীবনকাল রক্ষা করতে এবং ±0.1°C এর নিয়মিততা বজায় রাখতে নির্দিষ্ট পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করা উচিত।