V prostředí litografie není sušení fotorezistentu jen doporučením – jedná se o základní požadavek. Jakákoli odchylka 0,5 °C se projeví v kontrolě kritických rozměrů, a nerovnoměrnost teploty v „horké zóně“ negativně ovlivní celkovou úrodu. Potřebujete topič, který bude fungovat stejně jako originální zařízení, aniž by vás svazoval jeden konkrétní výrobce.
Vyrábíme přizpůsobené infračervené topiče určené k termální kontrole čipů, a to jak pro měkké, tak i tvrdé sušení fotorezistentu. Tento systém udržuje rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost nastavených hodnot je natolik vysoká, že chrání váš termální balanc. Používáme emitory blízkého infračerveného světla, protože ty přenášejí energii přímo do vrstvy čipů – reakce je rychlá, s minimálním zpožděním mezi příkazem a výsledkem.
Hardwarové komponenty jsou kompatibilní s prostředím čistých místností tříd 1–100. Všechny rozhraní jsou navržena tak, aby zabránily vzniku částic. Hodnoty napětí, hustoty napětí a rozměrů jsou určeny tak, aby odpovídaly požadavkům vaší komory a konektorů. Tento topič tedy lze jednoduše začlenit do vašeho systému bez nutnosti další práce.
Ověřujeme výkon v souladu s mezinárodními standardy pro termální zařízení v polovodičovém průmyslu a poskytujeme údaje o měřeních – mapy rovnoměrnosti, dobu potřebnou k dosažení požadované teploty, stabilitu za zatížení. Díky tomu je výměna zařízení kontrolovatelná, nikoliv pouze odhadovaná. Výsledkem je stabilní proces sušení, menší množství odpadu a možnost plánování intervalů údržby.
Instalace je jednoduchá, ale termální rozhraní je potřeba považovat za klíčový bod kontroly. Je nutné ověřit mechanické zarovnání a kompresi těsnicích prvků, aby bylo zachováno dokonalé těsnění; dokonce i malé úniky mohou negativně ovlivnit výkon. Plánujte krátký testovací provoz, abyste dokonale naстроili parametry PID v souladu s dynamikou vašeho procesu.