Na podlaze wafru není stabilita teploty při oplachu jen příjemným bonusem. Je to skutečná řídicí veličina procesu.
Pokud teplota oplachové vody začne kolísat, objeví se zbytky fotoresistu a ztuhlé okrajové vrstvy. Počet částic roste a kvalitní šarže končí ve šrotu. Vyvinuli jsme vodotěsnou infračervenou lampu pro oplach, která udržuje tepelnou uniformitu v oplachové zóně v rozsahu ±0,1°C, takže krok oplachu probíhá podle pevně daného receptu, nikoliv odhadu.
Co je pod kapotou
Používá krátkovlnné infračervené emitory v uzavřeném krytu s krytím IP67, takže snese přímý postřik, kondenzaci i agresivní čisticí prostředky, aniž by docházelo ke kolísání teploty. Ohřev na úrovni waferu je opakovatelný, protože pole emitterů je uspořádáno podle geometrie substrátu, nikoliv podle upínacího přípravku.
Nastavili jsme hustotu výkonu a vlnovou délku tak, aby docházelo k efektivnímu přenosu energie do vody a tenkých vrstev, čímž držíme nízkou tepelnou setrvačnost. To zajišťuje rychlý, lokalizovaný ohřev bez hluku stlačeného vzduchu a bez přenosu částic od ventilátorů.
Proč se hodí do kroku oplachu
Ve stanicích oplachu potřebujete rychlý ohřev a potom okamžité zastavení tepla. Lampa dosáhne nastavené hodnoty za několik sekund, drží ji bez přestřelu a vypne se čistě. To chrání tepelný rozpočet fotoresistu po soft bake i hard bake.
Vodotěsné provedení udržuje počet částic v čisté místnosti stabilní a řídicí odezva podporuje 24/7 provoz bez neplánovaných odstávek způsobených průnikem vlhkosti. Výsledkem je lepší kontrola kritických rozměrů, méně přepracování a nižší spotřeba energie, protože teplo je dodáváno přesně tam, kde je potřeba.
Na co si dát pozor
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby splňovaly mezinárodní požadavky na polovodičové zařízení a sloužily jako ověřená, ekvivalentní náhrada stávajících platforem. Instalace vyžaduje sladění elektrického rozhraní a ověření montážní roviny.
Tepelný runaway zůstane mimo provoz pouze tehdy, pokud je řídicí jednotka a senzor uvedeny do provozu jako pevná smyčka. Plánujte samostatný bod zpětné vazby teploty v oplachové zóně a ujistěte se, že ve vašem receptu je zohledněn vzestupný čas lampy, který je rychlejší než u konvenčních topných těles ponořených do kapaliny.