Auf dem Produktionsfloor legt der Aixtron-MOCVD-Reaktor das thermische Profil fest – dieses Profil bestimmt wiederum die Qualität der einzelnen Wafer. Wenn das Heizelement anfängt, aus dem Gleichgewicht zu geraten, verschlechtert sich die Temperaturgleichmäßigkeit, die Wiederholgenauigkeit der Prozesse sinkt, und man muss wieder von vorne anfangen. Wir haben Ersatzheizelemente für Aixtron hergestellt, um dieses thermische Gleichgewicht aufrechtzuerhalten – ohne Abweichungen, ohne unerwartete Probleme.
Was technisch wichtig ist:
Dieses Heizelement ist für Temperaturen im Bereich des MOCVD-Verfahrens geeignet und ermöglicht eine schnelle Anpassung der Temperatur. Es gewährleistet eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Substrats – dadurch bleibt die Stoffzusammensetzung der Schichten konstant. Das Heizelement funktioniert auch in Umgebungen der Klasse 1–100 einwandfrei, ohne dass es zu Partikelbildung kommt. Quarz und Halogene sorgen für eine stabile Infrarotstrahlung, eine schnelle Reaktion sowie eine vorhersehbare Alterung. Die Spezifikationen entsprechen denen der Aixtron-Plattformen: Nennspannung und -leistung, Standardanschlüsse sowie Abmessungen, die problemlos in vorhandene Geräte integriert werden können.
Warum das in der Praxis wichtig ist:
Bei der Lithografie und beim Verarbeiten von Fotolacken hängen alle Ergebnisse von einer genau kontrollierten Temperatur ab. Ein stabiles Heizelement verhindert, dass kritische Abmessungen, die Rauheit der Kanten sowie die Haftung der Schichten beeinträchtigt werden. Zudem wird Energie eingespart, da das Heizelement effizient heizt und die gewünschte Temperatur konstant hält. Es ist für 24/7-Betrieb geeignet – laut Felddaten sind Tausende von Betriebsstunden zwischen den Austauschvorgängen möglich. Dadurch entsteht weniger unplanmäßiger Stillstand und weniger Notfall-Ersatzteile sind benötigt.
Hinweise zur Installation:
Die Installation erfordert strenge Maßnahmen zum Schutz vor elektrostatischer Entladung sowie sauberes Handhaben. Zudem muss die Reaktorkammer nach dem Austausch neu kalibriert werden, damit das thermische Profil wiederhergestellt wird. Die Anschlüsse sowie Montagetoleranzen müssen genau übereinstimmen – andernfalls können Hotspots entstehen. Der Austausch sollte während der regelmäßigen Wartungsarbeiten erfolgen, damit keine Störungen im Betrieb entstehen.