En la planta de fabricación, justo antes del empaquetado, la oblea sale del proceso de limpieza final y comienza el cronómetro a marcar el tiempo. Cualquier humedad que quede en su superficie representa una amenaza: pueden surgir defectos como vacíos, delaminación y pérdida de rendimiento. Incluso un ligero desvío en la temperatura puede afectar la integridad del fotoreactivo y comprometer la fiabilidad del proceso. Se necesita un sistema de secado tan preciso como el utilizado en la litografía, pero que también pueda adaptarse al ritmo del empaquetado.
Lo importante es mantener la uniformidad térmica Logramos una uniformidad térmica en el nivel de la oblea de entre ±0,1°C, mientras que la repetibilidad del punto de ajuste se mantiene dentro de ±0,2°C. Los calentadores utilizan ondas infrarrojas de corta longitud, con ventanas de cuarzo para una transferencia de energía rápida y eficiente, además de elementos reforzados con fibra de carbono para garantizar estabilidad mecánica. En salas limpias de clase 1–100, la generación de partículas se mantiene por debajo de 0,1 partículas/cm² a 0,1 μm.
La intensidad lumínica se mantiene constante durante más de 5.000 horas, con un desvío inferior al 5%. El control se realiza mediante SECS/GEM, y el ciclo térmico está diseñado para funcionar 24/7 sin problemas.
Por qué es adecuado para el pre-empaquetado Esta configuración está diseñada específicamente para el secado previo al empaquetado. Las rampas de temperatura son rápidas, lo que reduce el tiempo de ciclo sin afectar el presupuesto térmico. La ausencia total de partículas mantiene limpia la cara frontal de la oblea, mientras que la alta uniformidad térmica protege los perfiles del fotoreactivo establecidos durante los procesos de secado.
El consumo energético disminuye, ya que los calentadores alcanzan rápidamente el punto de ajuste y lo mantienen estable, sin picos de consumo. Como resultado, hay menos retrabajos, dimensiones críticas más estables y un rendimiento predecible.
Qué se necesita para ponerlo en marcha Se necesita una línea eléctrica dedicada de 208–240 V, además de aire limpio y seco a 4–6 bar. El tamaño del módulo es compacto, pero es necesario dejar espacio alrededor de las ventanas de cuarzo para permitir la extracción de aire y el acceso al mismo. Conectarlo a los dispositivos existentes es sencillo, pero es recomendable realizar una prueba preliminar con los carriers para ajustar los parámetros y verificar la alineación de la oblea.
Se espera un tiempo de integración de dos semanas, incluyendo la configuración de los parámetros SECS/GEM.