نقش
شیمیپوشش فوتوریست در سالن لیتوگرافی خطا و تغییر دما را تحمل نمیکند. تغییر ۲°C در نمایه پخت نرم یا پخت سخت باعث از دست رفتن کنترل ابعاد بحرانی میشود و در نتیجه خط تولید متوقف میشود. ما محفظه هیتری از جنس استیل ضدزنگ برای کارخانههای ساخت ویفر ساختهایم که ثبات حرارتی در آنها یک «مزیت» نیست؛ بلکه بخشی جداییناپذیر از فرآیند است.
آنچه زیر پوسته اهمیت دارد
محفظه از استیل ضدزنگ الکتروپولیششده با خلوص بالا ساخته شده و چیدمان داخلی هیتر آن برای یکنواختی در سطح ویفر به دقت تنظیم شده—±0.1°C در سراسر سطح پخت. حسگرهای یکپارچه NIR و مسیر کنترل مهر و مومشده ثبات در نقطه تنظیم را به صورت دقیق نگه میدارند، بنابراین هر پخت نرم و سخت در هر چرخه دقیقاً در همان نقطه انجام میشود. این دستگاه برای اتاقهای تمیز کلاس 1–100 طراحی شده و از لحاظ کنترل ذرات به گونهای مهندسی شده که درزها صاف، انتشار گازهای بیرونزایی کم و سطحی مقاوم در برابر پروتکلهای تمیزکاری مرطوب سخت دارد. توان آن مطابق با امکانات کارخانه تنظیم شده و رابطها به پلتفرمهای استاندارد جابجایی ویفر متصل میشوند بدون این که نیازی به بازطراحی باشد.
دلیل پایداری در تولید
در دستههای واقعی، چنین کنترل حرارتی دقیقی به کاهش انحرافات، کاهش ضایعات و حفظ عملکرد ابعاد بحرانی در طول چندین چرخه منجر میشود. کنترل حرارتی دقیقتر زمان رسیدن به دما را کاهش میدهد که به نوبه خود زمان انتظار در پخت و مصرف انرژی را کم میکند—بدون این که نمایه فوتوریست آسیب ببیند. اطمینان از صحت اتصالات و نقاط انتهایی در هر قسمت ساخته شده است، بنابراین ابزار به صورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته با حداقل مشکلات عملیات میکند. وقتی نمایههای پخت قابل تکرار باشند، چرخههای تایید کیفیت فشردهتر شده و بازتایید کیفیت به صورت کار برنامهریزیشده انجام میشود نه یک کار اضطراری.
چند یادآوری در سالن تولید
با توجه به این که محفظه از جنس استیل ضدزنگ است، در هنگام نصب باید به اطمینان از اتصال زمین و اتصالات الکتریکی توجه شود—جریانهای مزاحم و کنترل ESD از متغیرهایی نیستند که بعداً بتوان بهراحتی آنها را کنترل کرد. پیش از تایید نهایی، سازگاری با امکانات کارخانه را بر اساس پیکربندی دقیق دستگاه کنترل کنید: ولتاژ، آمپر، فشار خنککننده و خروجی هوا. ناسازگاری در این موارد عملکرد را محدود خواهد کرد، حتی اگر واحد به صورت مکانیکی به خوبی نصب شده باشد. رابطها را از قبل شناسایی و مطابقت دهید.