در کف دستگاه ویفر، پایداری دمای مرحله شستشو یک ویژگی اختیاری نیست، بلکه یک متغیر واقعی در کنترل فرایند است. اگر دمای آب شستشو تغییر کند، شروع به مشاهده باقیماندههای فوتورزیست و تجمع حاشیهای خواهید کرد. شمارش ذرات افزایش مییابد و دستههای خوب دور ریخته میشوند. ما لامپ مادون قرمز ضدآب را برای مرحله شستشو طراحی کردیم تا یکنواختی دمایی منطقه شستشو را در محدوده ±0.1°C حفظ کند، به طوری که مرحله شستشو مانند یک دستور پخت ثابت اجرا شود، نه بر اساس تخمین.
زیر کاپوت این دستگاه از تابشدهندههای مادون قرمز با طول موج کوتاه در محفظهای مهر و موم شده با رتبه IP67 استفاده میکند، بنابراین در برابر پاشش مستقیم، تقطیر و مواد شوینده قوی بدون تغییر عملکرد مقاوم است. گرمادهی در سطح ویفر تکرارشونده است چرا که آرایه تابشدهندهها مطابق با هندسه زیرلایه چیده شدهاند، نه براساس نگهدارنده.
چگالی توان و طول موج را به گونهای تنظیم کردیم که به طور مؤثر در آب و فیلمهای نازک جذب شود و ممانعت حرارتی را پایین نگه داریم. این باعث گرمادهی سریع و موضعی میشود—بدون سر و صدای هوای فشرده و بدون بار ذرات ناشی از فن.
چرا مناسب مرحله شستشو است در ایستگاههای شستشو، نیاز به گرما با سرعت بالا دارید و همچنین باید سریع متوقف شود. لامپ در چند ثانیه به نقطه تنظیم میرسد، بدون عبور از حد نگه داشته میشود و به صورت پاک خاموش میشود. این کار از بودجه حرارتی فوتورزیست بعد از پخت نرم و پخت سخت محافظت میکند.
ساخت ضدآب موجب پایداری شمارش ذرات در اتاق تمیز میشود و پاسخ کنترل آن از عملیات ۲۴/۷ بدون توقف غیرمنتظره ناشی از نفوذ رطوبت پشتیبانی میکند. نتیجه آن کنترل دقیقتر ابعاد بحرانی، کاهش دوبارهکاری و مصرف کمتر انرژی است زیرا حرارت دقیقا به جایی تخصصی میرود که فرایند نیاز دارد.
چه مواردی را باید مد نظر داشت این لامپها برای برآورده کردن انتظارات بینالمللی تجهیزات نیمههادی مهندسی شدهاند و به عنوان جایگزینی معتبر و معادل برای پلتفرمهای موجود عمل میکنند. نصب آنها مستلزم تطبیق رابط الکتریکی و تأیید صفحه نصب است.
فرار حرارتی تنها زمانی مهار میشود که کنترلر و سنسور به عنوان یک حلقه بسته دقیق راهاندازی شوند. برنامهریزی برای یک نقطه بازخورد دمایی اختصاصی در منطقه شستشو ضروری است و باید مطمئن شوید که دستور پخت شما زمان افزایش دمای لامپ را که سریعتر از گرمکنندههای غوطهوری معمولی است، در نظر گرفته است.