Sur le plateau de fabrication, juste avant l’emballage, la puce sort du processus de nettoyage final. C’est à ce moment-là que commence le compteur du temps restant. Toute humidité restante à la surface de la puce représente un risque majeur : des défauts tels que des vides ou des délaminations peuvent survenir rapidement, entraînant ainsi une perte de productivité. Même une légère variation de température peut compromettre l’intégrité du photo-résistant et nuire à la reproductibilité des résultats. Il est donc nécessaire d’utiliser un système de séchage aussi précis que celui utilisé en lithographie, tout en veillant à ce qu’il fonctionne en parallèle avec les étapes d’emballage.
Ce qui est important en termes de performance Nous garantissons une homogénéité thermique de la puce dans une fourchette de ±0,1 °C sur toute sa surface. La répétabilité des valeurs de température reste également dans une fourchette de ±0,2 °C. Les chauffages utilisent des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, avec des vitres en quartz pour assurer un transfert d’énergie rapide et propre. Des éléments renforcés en fibres de carbone assurent la stabilité mécanique du système. Dans des salles propres de classe 1–100, la concentration de particules reste inférieure à 0,1 particule/cm² à 0,1 μm.
La puissance délivrée reste constante pendant plus de 5 000 heures, avec une variation de intensité inférieure à 5 %. Le contrôle s’effectue via SECS/GEM, et le circuit thermique est conçu pour fonctionner 24/7.
Pourquoi c’est adapté pour l’étape préalable à l’emballage Ce système a été conçu spécifiquement pour le séchage des puces avant l’emballage. Les rampes de température sont rapides, ce qui permet de réduire le temps de traitement sans affecter négativement les paramètres thermiques. L’absence totale de particules garantit que la face avant de la puce reste propre. L’homogénéité thermique élevée protège les profils du photo-résistant, tels qu’ils ont été définis lors des processus de durcissement.
L’utilisation d’énergie est réduite, car les chauffages atteignent rapidement la température souhaitée et la maintiennent constante – sans aucune fluctuation. Les avantages sont nombreux : moins de retours en arrière, des dimensions critiques stables, et une productivité prévisible.
Ce dont vous avez besoin pour faire fonctionner ce système Il vous faut une alimentation électrique dédiée de 208–240 V, ainsi qu’un air propre et sec à 4–6 bars. La taille du module est compacte, mais il est nécessaire de laisser suffisamment d’espace autour de la vitre en quartz pour permettre l’évacuation de l’air et l’accès au matériel. La connexion aux systèmes existants est simple, mais il est conseillé de réaliser un essai préalable pour ajuster les paramètres et vérifier l’alignement des puces.
Prévoyez un délai d’intégration d’environ deux semaines, y compris le temps nécessaire pour configurer les paramètres SECS/GEM.