בשטח הייצור, רמת ההתאמה של התנאים התרמיים נמדדת במעלות – זה פשוט מאוד. שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט, או נקודות קרות ברחבי הוופר במהלך תהליך הייבוש, עלולים לגרום לשינויים בממדים החשובים של המוצר, לעלייה במספר החלקיקים, ולהפיכת מוצרים טובים לפסולת. ייצרנו את מערכות החימום המבוססות על ננו-צינורות פחמן, כדי להסיר את הצורך בהערכות תרמיות מדויקות במהלך התהליך.
מה חשוב באמת? בחרנו ברכיבי חימום המבוססים על ננו-צינורות פחמן, מכיוון שהם מגיבים במהירות, נשארים באזור מסוים, ושומרים על רמת פליטת חום יציבה – בשילוב עם קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, ניתן להעביר אנרגיה ביעילות. התוצאה היא אחידות ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C באזור הפעיל, ואחידות בנקודת הטמפרטורה של ±0.2°C. שליטה בתהליך החימום מאפשרת שמירה על טמפרטורה קבועה, והיציבות נשמרת לאורך זמן. העיצוב הזה מונע ייצור חלקיקים, ומתאים לחדרי ייצור מסוג Class 1–100. שליטה אוטומטית מאפשרת פעולה רציפה, ללא הפסקות לא צפויות.
למה זה חשוב בליתוגרפיה ומעבר לה? בליתוגרפיה, יש צורך בחימום אחיד כדי להשיג את רמת הויסקוזיות הנכונה של הפוטורזיסט וכדי להוציא את הממסים; בחימום אינטנסיבי, יש צורך בחיבורים חוזרים כדי שהתבנית תישאר שלמה. מערכות החימום שלנו מספקות אחידות ושגרתיות, מה שמאפשר שליטה ברמת ה-CD ומפחית את השונות בקצוות המוצר. ייבוש הוופר נעשה בצורה יעילה יותר, עם פחות פגמים על המשטח ופחות צורך בעבודות תיקון.
תגובה מהירה מקצרת את זמן התהליך, והשימוש בקרינת אינפרא-אדום יעילה מפחית את צריכת האנרגיה לכל סדרה של ייצור. כך ניתן להגדיל את זמן העבודה, להפחית את כמות הפסולת, ולהאריך את מרווחי התחזוקה.
מה צריך לקחת בחשבון? מערכות החימום המבוססות על ננו-צינורות פחמן דורשות ממשק כוח ובקרה מיוחד, שיתאים למאפייני הציוד שלכם ולמערכות הבטיחות. צפו לזמן התקנה קצר כדי להתאים את פרמטרי החימום לציוד שלכם.
המערכת אמינה, אך עדיין יש צורך לבדוק את החיבור התרמי לציוד שלכם – אחרת לא ניתן יהיה לשמור על האחידות הרצויה. לאחר שהכל מותאם, התהליך נשאר יציב. העבודה יכולה להתבצע רק כאשר אתם רוצים בכך.