लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को उचित तापमान पर गर्म करना कोई सुझाव नहीं, बल्कि एक आवश्यक शर्त है। 0.5°C का भी अंतर, उत्पादन प्रक्रिया में महत्वपूर्ण प्रभाव डाल सकता है; इसके अलावा, गर्म क्षेत्रों में तापमान में असमानता के कारण उत्पादन में कमी आ सकती है। ऐसी स्थिति में, ऐसे हीटरों की आवश्यकता होती है जो OEM उत्पादों के समान ही कार्य करें, लेकिन किसी एक विक्रेता पर निर्भर न रहें।
हम वेफर-स्तर पर तापीय नियंत्रण हेतु कस्टम इन्फ्रारेड हीटर बनाते हैं; ऐसे हीटर फोटोरेजिस्ट को उचित तापमान पर गर्म करने में मदद करते हैं। यह सिस्टम वेफर के तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखता है; इसके अलावा, सेटपॉइंटों की पुनरावृत्ति भी बहुत ही सटीक होती है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया में कोई समस्या नहीं आती। हम नियर-इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, क्योंकि ये ऊर्जा को सीधे ही वेफर में पहुँचाते हैं… इससे प्रतिक्रिया तेज होती है, एवं कमांड देने एवं परिणाम प्राप्त होने में कोई देरी नहीं होती।
यह हार्डवेयर क्लीनरूम-अनुकूल है… इसके अलावा, प्रत्येक इंटरफेस को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि कोई भी कण उत्पन्न न हो। ऊर्जा घनत्व, वोल्टेज एवं आयाम आपके चेंबर की आवश्यकताओं के अनुरूप ही होते हैं… इसलिए इसे बिना किसी पुनर्कार्य के ही उपयोग में लाया जा सकता है।
हम अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुसार ही इस हार्डवेयर का परीक्षण करते हैं… इसके अलावा, हम मापन डेटा भी प्रदान करते हैं… जैसे कि तापमान संबंधी डेटा, उत्पादन प्रक्रिया में होने वाली परिवर्तनों का डेटा आदि… इससे उत्पादन प्रक्रिया में कोई समस्या नहीं आती।
स्थापना बहुत ही सरल है… लेकिन तापीय इंटरफेस को एक महत्वपूर्ण नियंत्रण बिंदु के रूप में ही देखना आवश्यक है… यांत्रिक संरेखण एवं गैस्केटों के दबाव को ठीक रखना आवश्यक है… छोटे-मोटे रिसाव भी उत्पादन प्रक्रिया में समस्याएँ पैदा कर सकते हैं… PID ट्यूनिंग हेतु एक छोटा सा परीक्षण भी आवश्यक है।