Di fasilitas litografi, proses pemanasan photoresist bukanlah hal yang bisa diabaikan—ini merupakan syarat mutlak yang harus dipenuhi. Perubahan suhu sebesar 0,5°C saja sudah dapat mempengaruhi akurasi pengendalian dimensi komponen yang dibuat. Ketidakteraturan suhu di area panas juga dapat mengurangi kualitas produk yang dihasilkan. Anda membutuhkan pemanas yang memiliki kinerja setara dengan pemanas buatan OEM, tanpa harus terikat pada satu pemasok tertentu.
Kami membuat pemanas inframerah khusus untuk mengontrol suhu pada tingkat wafer, baik untuk proses pemanasan photoresist jenis “soft bake” maupun “hard bake”. Sistem ini mampu menjaga keseragaman suhu di permukaan wafer hingga ±0,1°C. Tingkat repetibilitas pengaturan suhu juga sangat baik, sehingga dapat melindungi kualitas produk Anda. Kami menggunakan emitor inframerah karena energi yang dihasilkannya langsung disalurkan ke wafer, sehingga responsnya cepat, tanpa adanya keterlambatan antara perintah dan hasilnya.
Perangkat keras ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100. Semua antarmuka dirancang sedemikian rupa agar tidak menimbulkan partikel pengganggu. Kepadatan daya, tegangan, dan dimensi perangkat tersebut disesuaikan sesuai dengan persyaratan chamber dan konektor yang digunakan, sehingga perangkat ini dapat langsung digunakan sebagai subsistem pengontrol suhu, tanpa perlu modifikasi lagi.
Kami memverifikasi kinerja perangkat ini berdasarkan standar internasional untuk peralatan semikonduktor. Kami juga menyediakan data pengukuran seperti peta keseragaman suhu, waktu pemanasan, dan stabilitas suhu saat beban berubah. Dengan demikian, penggantian perangkat dapat dilakukan secara teliti, bukan secara sembarangan. Hasilnya adalah profil pemanasan yang stabil, jumlah limbah yang lebih sedikit, serta jadwal pemeliharaan yang dapat direncanakan dengan pasti.
Proses pemasangan perangkat ini cukup sederhana, tetapi interkoneksi termal perlu diperhatikan dengan seksama. Pastikan bahwa penyesuaian mekanis dan kompresi gasket dilakukan dengan baik agar segelnya tetap utuh. Bahkan kebocoran kecil sekalipun dapat merusak kualitas produk. Lakukan uji coba singkat untuk menyetel parameter PID sesuai dengan kondisi produksi Anda.