すすぎ用防水赤外線ランプ

ウェーハフロアにおいて、リンス工程の温度安定性は単なる望ましい条件ではなく、実際のプロセス制御変数です。 リンス水の温度が変動すると、フォトレジスト残渣やエッジビードが発生しやすくなり、粒子数も増加、良品ロットがリジェクトされるリスクが高まります。そこで、リンスゾーンの熱均一性を±0.1℃以内に維...