Dalam proses litografi, proses pemanasan bahan fotoresist bukan sekadar cadangan semata-mata, tetapi merupakan syarat penting yang perlu dipatuhi. Sebarang perubahan suhu sebanyak 0.5°C boleh menjejaskan kawalan dimensi bahan tersebut. Selain itu, ketid seragaman suhu di kawasan panas juga akan merosakkan kualiti produk yang dihasilkan. Oleh itu, diperlukan pemanas yang berfungsi dengan baik, tanpa memerlukan pengguna bergantung pada satu penjual sahaja.
Kami membina pemanas inframerah khas untuk kawalan suhu pada tahap wafer, khusus untuk proses pemanasan bahan fotoresist. Sistem ini mampu mengekalkan ketid seragaman suhu pada tahap ±0.1°C, dan ketepatan penetapan suhu sangat tinggi, sekaligus melindungi kualiti produk yang dihasilkan. Kami menggunakan pemancar inframerah kerana ia mampu menghantar tenaga secara langsung ke wafer, sehingga memberikan respons yang cepat, dengan masa tindak balas yang minimum antara arahan yang diberikan dan hasilnya.
Perangkat keras ini sesuai digunakan dalam bilik bersih bertaraf Class 1–100. Semua antaramuka direka sedemikian rupa agar tidak menjana zarah-zarah berbahaya. Ketumpatan tenaga, voltan, dan dimensi perangkat keras ini disesuaikan agar sesuai dengan keperluan ruang dan sambungan yang ada. Dengan cara ini, perangkat keras ini dapat digunakan sebagai subsistem kawalan suhu tanpa memerlukan pengubahsuaian lanjut.
Kami menguji prestasi perangkat keras ini mengikut standard antarabangsa untuk peralatan semikonduktor. Kami juga menyediakan data pengukuran seperti peta ketid seragaman suhu, masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan, serta stabiliti perangkat keras tersebut semasa beroperasi. Dengan cara ini, penggantian perangkat keras dapat dilakukan dengan tepat, tanpa perlu membuat tekaan. Kelebihannya ialah profil pemanasan yang stabil, pengurangan bahan buangan, serta jadual penyelenggaraan yang lebih teratur.
Pemasangan perangkat keras ini mudah, namun interfasinya perlu diperhatikan dengan teliti. Pastikan alinhemen mekanikal dan tekanan gasket betul-betul sempurna agar sambungan tetap rapat. Sebarang kebocoran kecil pun boleh merosakkan kualiti produk. Rancanglah ujian pendek untuk menyesuaikan tetapan PID agar sesuai dengan keperluan operasi anda.