Mengurangkan pelepasan karbon dalam proses pengeluaran: Mengapa penggunaan pemanas inframerah vakum merupakan pilihan yang terbaik
Jika anda pernah berada di bilik bersih, anda pasti tahu betapa pentingnya ketepatan suhu semasa proses pengeluaran. Namun, proses ini perlu dilakukan dalam keadaan vakum agar tidak berlaku oksidasi atau kotoran yang boleh merosakkan bahan yang digunakan.
Selama ini, kita menggunakan furnace jenis resistif tradisional. Namun, masalahnya ialah furnace tersebut memerlukan tenaga yang banyak untuk memanaskan udara dan dinding bilik tersebut, bukannya permukaan wafer itu sendiri.
Di sinilah kegunaan pemanas inframerah vakum. Daripada memanaskan seluruh bilik, tenaga hanya digunakan untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung.
Prinsipnya sebenarnya sangat mudah. Dalam keadaan vakum, tidak ada aliran udara yang boleh membawa haba. Semuanya bergantung pada radiasi. Kita menggunakan lampu inframerah gelombang pendek kerana ia lebih efektif dalam memanaskan permukaan wafer berbanding lampu gelombang panjang.
Dengan mengurangkan penggunaan tenaga untuk memanaskan dinding bilik, jejak karbon yang dihasilkan akan berkurangan. Ini merupakan kelebihan bagi planet Bumi dan juga bagi kos operasi anda.
Namun, bukan semua lampu sesuai digunakan dalam keadaan vakum. Lampu biasa akan rosak dengan cepat dalam keadaan vakum. Ia akan mengeluarkan gas yang boleh merosakkan sistem vakum atau bahkan menempel pada permukaan wafer.
Untuk mengelakkan hal ini, kita menggunakan kuarsa berkualiti tinggi serta komponen pengedap yang direka khas untuk kegunaan vakum. Filamen lampu juga dibuat agar mampu menahan haba yang tinggi tanpa merosakkan sistem vakum. Pastikan juga bekalan kuasa yang digunakan sesuai dengan voltan lampu tersebut. Jika tidak, lampu tersebut akan rosak lebih cepat.
Namun, ia bukanlah penyelesaian yang sempurna. Masih ada beberapa perkara yang perlu dipertimbangkan. Kelebihannya ialah kelajuan. Pemanas inframerah membolehkan proses pemanasan dan penyejukan dilakukan dengan cepat. Namun, perlu juga dipastikan densiti haba tidak terlalu tinggi. Jika lampu tidak disusun dengan tepat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Perlu juga dipastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan lemah, haba tersebut akan merosakkan komponen elektronik.
Pada akhirnya, menggantikan pemanas jenis resistif lama dengan pemanas inframerah vakum merupakan pilihan yang bijak. Anda akan menggunakan kurang tenaga untuk setiap wafer, dan proses pengeluaran akan tetap berjalan lancar. Ini merupakan cara yang mudah untuk menjadikan kilang anda lebih mesra alam tanpa mengganggu aliran kerja anda.