Di lantai wafer, kestabilan suhu tahap bilas bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan. Ia adalah pembolehubah kawalan proses yang nyata. Biarkan suhu air bilas melambung, dan anda akan mula melihat sisa fotoresist dan tepi bead terlekat. Bilangan partikel meningkat, dan lot yang baik terpaksa dibuang. Kami membina lampu inframerah kalis air untuk bilas bagi mengekalkan keseragaman terma zon bilas dalam ±0.1°C, jadi langkah bilas berfungsi seperti resipi tetap, bukan teka-teki.
Apa yang ada di bawah penutupnya
Ia menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek dalam perumahan tertutup yang dinilai IP67, jadi ia tahan terhadap semburan langsung, pemeluwapan, dan agen pembersih yang keras tanpa melambung. Pemanasan peringkat wafer adalah boleh diulang kerana susunan pemancar disesuaikan dengan geometri substrat, bukan alat pegang.
Kami menetapkan ketumpatan kuasa dan panjang gelombang untuk berpasangan dengan cekap ke dalam air dan filem nipis, mengekalkan inersia terma yang rendah. Ini memberikan pemanasan yang cepat dan terhad—tiada bunyi udara termampat, tiada beban partikel yang disebabkan oleh kipas.
Mengapa ia sesuai untuk langkah bilas
Di stesen bilas, anda memerlukan haba dengan cepat, kemudian anda memerlukan ia berhenti dengan serta-merta. Lampu ini mencapai titik set dalam beberapa saat, mengekalkan tanpa melampaui, dan dimatikan dengan bersih. Itu melindungi belanjawan terma fotoresist selepas bakar lembut dan bakar keras.
Pembinaan kalis air mengekalkan bilangan partikel bilik bersih yang stabil, dan tindak balas kawalan menyokong operasi 24/7 tanpa waktu henti yang tidak dirancang akibat kemasukan kelembapan. Hasilnya adalah kawalan dimensi kritikal yang lebih ketat, kurang kerja semula, dan penggunaan tenaga yang lebih rendah kerana haba pergi tepat ke tempat yang diperlukan oleh proses.
Apa yang perlu diperhatikan
Lampu-lampu ini direka untuk memenuhi jangkaan peralatan semikonduktor antarabangsa dan berfungsi sebagai alternatif yang disahkan dan setara untuk platform yang sedia ada. Pemasangan bermakna memadankan antara muka elektrik dan mengesahkan satah pemasangan.
Kejadian larian terma hanya akan terkawal apabila pengawal dan sensor dipasangkan sebagai satu gelung yang ketat. Rancang untuk mempunyai titik maklum balas suhu khusus di zon bilas, dan pastikan resipi anda mengambil kira masa peningkatan lampu, yang lebih cepat daripada pemanas rendaman konvensional.