Op de lithografieafdeling is het verhitten van de fotoresist geen aanrader – het is eerder een noodzakelijke voorwaarde. Een verschil van 0,5°C heeft invloed op de nauwkeurigheid van de meting van de afmetingen van de chip. Bovendien kan ongelijkmatige warmteverdeling leiden tot lagere productiekwaliteit. Er is dus behoefte aan een heater die net zo goed werkt als die van de originele fabrikant, zonder dat je afhankelijk bent van één bepaald bedrijf.
Wij ontwikkelen maatwerk-infraroodverwarmers voor thermische controle op het niveau van de chip. Deze zijn speciaal ontworpen voor zowel zacht als hard verhiten van de fotoresist. Het systeem houdt de temperatuur op het oppervlak van de chip binnen ±0,1°C. De precisie van de instellingen is voldoende om de thermische parameters stabiel te houden. We gebruiken near-infraroodemitters, omdat deze energie rechtstreeks in de chip kunnen leveren. Hierdoor is de respons snel en is er minimale vertraging tussen het geven van een commando en het bereiken van het gewenste resultaat.
De hardware is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Alle interfaces zijn zo ontworpen dat er geen deeltjes worden gegenereerd. De stroomsterkte, spanning en afmetingen zijn zo gekozen dat ze overeenkomen met de specificaties van uw kamer en verbindingen. Hierdoor kan de heater gemakkelijk worden geïntegreerd als onderdeel van het thermische systeem, zonder dat er extra werk nodig is.
We controleren de prestaties van de heaters volgens internationale standaarden voor semiconductortechnologie. We leveren ook metinggegevens, zoals kaarten van de temperatuurverdeling, de tijd die nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken en de stabiliteit onder belasting. Hierdoor kunt u precies zien hoe de heater presteert, zonder dat het nodig is om te gissen. Het voordeel is dat de verhittingsproces stabiel blijft, er minder afval is en u de onderhoudsintervallen beter kunt plannen.
De installatie is eenvoudig, maar beschouw de thermische interface als een cruciaal punt. Zorg ervoor dat de mechanische alignment en de compressie van de dempingsschijven goed zijn, zodat de luchtdichte afsluiting behouden blijft. Zelfs kleine lekken kunnen de prestaties negatief beïnvloeden. Plan een korte testperiode in om dePID-instellingen af te stemmen op de dynamiek van uw productieproces.