Na linii produkcyjnej ta krzywa temperatury na płycie grzewczej służy nie tylko do podgrzewania płytki krzemowej – określa również warunki niezbędne do prawidłowego przebiegu procesu. Kilka stopni odchylenia podczas procesu delikatnego lub intensywnego podgrzewania wystarczy, aby zmienić krytyczne wymiary płytki, skrzywić kąty jej ścian bocznych i spowodować, że efektywność produkcji będzie poniżej normy. Nasz grzejnik został zaprojektowany tak, aby zapewnić jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki krzemowej – z dokładnością ±0,1°C. Dzięki temu profil fotorezystu pozostaje stabilny przez cały proces litografii i etchingu.
Co jest istotne w tym procesie
Kombinujemy emiterы krótkofalowe typu kwarcowo-halogenowy z blokiem grzewczym o niskiej masie cieplnej, dzięki czemu procesy podgrzewania są szybkie i powtarzalne. System sterowania korzysta z kalibrowanych czujników umieszczonych na powierzchni płytki krzemowej, a nie na samym grzejniku – dzięki temu wartość docelowa odpowiada rzeczywistej temperaturze płytki. Urządzenie spełnia wymagania pomieszczeń o czystości klasy 1–100, nie wytwarza żadnych cząstek (potwierdzone bezpośrednio na miejscu) i może pracować 24/7 bez przerw. Powtarzalność wyników pozostaje na poziomie 0,2% przy ponad 5000 godzinach pracy, dzięki czemu wartości termiczne są stałe pomiędzy poszczególnymi partiami produktów.
Dlaczego urządzenie sprawdza się podczas procesu montażu i podgrzewania
W stacjach podgrzewania konieczny jest identyczny profil temperatury za każdym razem: delikatne podgrzewanie służy do usunięcia rozpuszczalników, natomiast intensywne podgrzewanie ma na celu utwardzenie maski. Przekroczenie odpowiedniej temperatury może prowadzić do powstawania niepożądanych struktur na powierzchni płytki, natomiast niewystarczające podgrzewanie powoduje pozostanie resztek chemicznych. Ten grzejnik utrzymuje temperaturę na właściwym poziomie, zmniejsza ilość odpadów i skraca czas procesu poprzez skrócenie czasu oczekiwania na stabilizację temperatury. Zużycie energii jest dostosowane do wymagań termicznych, więc można obniżyć koszty eksploatacji bez rezygnacji z szybkości podgrzewania.
Kilka praktycznych uwag
Urządzenie wymaga dedykowanego, zabezpieczonego dopływu prądu oraz czystego, suchego źródła zasilania – w przeciwnym razie dochodzi do zaburzeń w jednorodności temperatury. Zamiana konektorów w trakcie użytkowania może spowodować odchylenie kalibracji o kilka dziesiątych stopnia. Należy planować instalację z uwzględnieniem wymiarów urządzenia oraz środowiska panującego w komorze. Podajemy mapy kalibracji oraz szablony procedur podgrzewania, ale integracja urządzenia z całym systemem zależy od odpowiedniego dopasowania płytki krzemowej do warunków panujących w komorze.