ทำไมเราถึงเลิกใช้วิธีการอบด้วยอากาศร้อน แล้วหันมาใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดแทน พูดตามตรงนะครับ เตาอบที่ใช้อากาศร้อนนั้นถือว่าเป็นเทคโนโลยีแบบเก่าไปแล้ว...

Out on the lithography floor, you learn fast that a half-degree drift in soft bake will show up as linewidth variation across the wafer. And if hard...