Üretim alanında, o sıcak plakanın sıcaklık eğrisi yalnızca wafer’ı ısıtmakla kalmaz; aynı zamanda üretim sürecinin koşullarını da belirler. Yumuşak veya sert pişirme işlemleri sırasında birkaç derecelik bir değişiklik bile kritik boyutların değişmesine, yan duvar açılarının bozulmasına ve ürünün standartlara uymamasına neden olabilir. Fabrikamızdaki ısıtıcılar, wafer üzerindeki termal düzenliliği sağlamak için tasarlanmıştır; böylece substrat üzerindeki sıcaklık ±0.1°C arasında sabit kalır ve böylece fotoresist profili litografi ve aşındırma işlemleri boyunca stabil kalır.
Önemli olan şeyler
Kvartz-halojen kısa dalga vericilerini, düşük termal kütleli ısıtıcı bloklarla bir araya getiriyoruz; böylece ısıtma işlemi hızlı ve tekrarlanabilir hale geliyor. Kontrol döngüsü, ısıtıcı gövdesinden değil, wafer yüzeyine yerleştirilen kalibre edilmiş sensörlerden veri alır; böylece ayar noktası waferin gerçek durumunu yansıtır. Bu sistem, 1–100 sınıfı temiz odaların gereksinimlerini karşılar, hiçbir parçacık üretmez (bu durum sahada doğrulanmıştır) ve planlanmayan arızalar olmadan 24/7 çalışır. 5.000 saatlik kullanım süresince çıktının tekrarlanabilirliği %0.2 civarında kalır; böylece her parti için termal koşullar tutarlı olur.
Neden montaj ve pişirme işlemlerinde işe yarar?
Pişirme istasyonlarında her seferinde aynı profilin elde edilmesi gerekir: Solventleri uzaklaştırmak için yumuşak pişirme, maskeyi sertleştirmek için ise sert pişirme. Aşırı ısılama deri oluşumuna neden olabilir; yetersiz ısılama ise kalıntı bırakır. Bu ısıtıcı, pişirme sürecini hedef değerlerde tutar, atıkları azaltır ve stabilizasyon sürelerini kısaltarak döngü süresini kısaltır. Güç tüketimi, termal yükle uyumlu olduğundan, hızı düşürmeden işletim maliyetleri azaltılır.
Birkaç pratik ipucu
Bu cihazın özel ve korumalı bir güç kaynağına ihtiyacı vardır; ayrıca temiz ve kuru bir enerji kaynağı da gereklidir. Aksi takdirde termal düzenlilik bozulur. Sahada konektörleri değiştirmek, kalibrasyonu ondalık derecelerle değiştirebilir. Montajı cihazın boyutlarına göre planlayın ve pişirme işlemlerini başlatmadan önce talimatları kontrol edin. Yumuşak ve sert pişirme işlemleri için kalibrasyon haritaları ve talimat şablonları sağlıyoruz; ancak entegrasyon yine de waferin yapısı ve odanın ortam koşullarıyla uyumlu hale getirilmelidir.