На етапі літографії все залежить від точності контролю температури: навіть незначне відхилення на півградуса може призвести до проблем. Якщо додати ще й утворення частинок, то навіть ідеальний продукт може перетворитися на бракований. Потрібен джерело тепла, яке буде діяти як справжній параметр процесу, а не як ще одна змінна, яку потрібно контролювати.
Що є важливим з технічної точки зору
У наших лампах для пом’якшення фоторезисту ми використовуємо інфрачервоні джерела світла з кварцовими емітерами. Тепло поширюється швидко та цілеспрямовано, що забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C. Температурний профіль залишається стабільним під час кожного циклу обробки, тож не виникає проблем із точністю обробки.
Система розроблена для роботи в умовах чистих приміщень класу 1–100: використовуються матеріали з низьким випромінюванням, відсутнє утворення частинок, а оптичний шлях є герметичним, що запобігає забрудненню процесу. Існує система контролю температури, яка забезпечує стабільність значень температури. Система дозволяє працювати 24/7 без неplanових перерв.
Чому це ефективно
Під час виробництва процедура пом’якшення фоторезисту допомагає усунути розчинники та напругу в плівці перед процедурою експозиції. Завдяки цій лампі поведінка фоторезисту залишається стабільною, кількість необхідних корекцій зменшується, а контроль якості покращується.
Температурна реакція є достатньо швидкою, що дозволяє скоротити час обробки без перевищення встановлених параметрів. Энергоспоживання також зменшується завдяки точному контролю емітера та мінімальним втратам тепла. Крім того, тривалість роботи лампи збільшується, а кількість необхідних ремонтів зменшується, що забезпечує стабільність продуктивності.
Що потрібно знати
Встановлення лампи має бути точним: необхідно правильно вирівняти її щодо площини пластини та забезпечити стабільне живлення. Перепади напруги можуть порушити систему контролю та призвести до неоднорідності температури.
Яскравість лампи залежить від відстані між емітером та підкладкою, тож механічні толеранції мають відповідати встановленим параметрам. Необхідно регулярно калібрувати датчик температури та періодично перевіряти однорідність температури, щоб забезпечити стабільну продуктивність протягом часу.