فیکٹری میں، اس ہیٹنگ پلیٹ کا درجہ حرارت صرف ویفر کو گرم کرنے کے لئے استعمال نہیں ہوتا، بلکہ یہ پروسیس کے عمل کو کنٹرول کرنے میں بھی اہم کردار ادا کرتا ہے۔ سافٹ بیک یا ہارڈ بیک کے دوران چند ڈگریوں کا فرق بھی ویفر کے ابعاد کو تبدیل کرنے، سائیڈ والز کے زاویوں کو بدلنے، اور پروڈکشن کے معیار کو متاثر کرنے کے لئے کافی ہے۔ ہمارے فیکٹری میں استعمال ہونے والے ہیٹرز، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو یکساں رکھنے کے لئے بنائے گئے ہیں؛ یعنی سبسٹریٹ پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات لیتھوگرافی اور ایچنگ کے عمل کے دوران برقرار رہیں۔
کن چیزوں کی اہمیت ہے؟
ہم کوارٹز-ہیلوجن شارٹ-ویو ایمیٹرز کو کم تھرمل ماس والے ہیٹر بلاکس کے ساتھ استعمال کرتے ہیں، تاکہ درجہ حرارت کو تیزی سے اور باقاعدگی سے کنٹرول کیا جاسکے۔ کنٹرول سسٹم، ویفر کی سطح پر موجود سینسرز سے ڈیٹا حاصل کرتا ہے، نہ کہ ہیٹر کے جسم سے؛ اس طرح سیٹپوائنٹ وہی رہتا ہے جو ویفر واقعی دیکھتا ہے۔ یہ سسٹم کلاس 1–100 کے کلین روم کے معیارات کے مطابق کام کرتا ہے، کوئی ذرہ پیدا نہیں کرتا، اور 24/7 بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتا رہتا ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی، آؤٹ پٹ کی درستگی 0.2% کے اندر رہتی ہے؛ اس طرح ہر بیچ میں درجہ حرارت کا معیار یکساں رہتا ہے۔
اسے اسمبلی اور بیکنگ کے عمل میں کیوں استعمال کیا جاتا ہے؟
بیکنگ اسٹیشنوں میں، ہر بار ایک ہی درجہ حرارت کی ضرورت ہوتی ہے: سافٹ بیک سے محلولات خارج ہوتے ہیں، جبکہ ہارڈ بیک سے ماسک سخت ہو جاتا ہے۔ درجہ حرارت میں زیادتی سے سطح پر تبدیلیاں پیدا ہو سکتی ہیں، جبکہ کم درجہ حرارت سے باقیات رہ جاتی ہیں۔ یہ ہیٹر، درجہ حرارت کو مناسب سطح پر رکھتا ہے، فضول مواد کو کم کرتا ہے، اور استحکام کے لئے درکار وقت کو کم کرتا ہے۔ پاور کی ضرورت، درجہ حرارت کے مطابق ہوتی ہے؛ اس طرح آپ آپریشنل لاگت کو کم کر سکتے ہیں، بغیر رفتار کو کم کیے۔
چند عملی نکات:
اس یونٹ کے لئے الگ، شیلڈڈ پاور سپلائی اور صاف، خشک پاور سپلائی کی ضرورت ہے؛ ورنہ درجہ حرارت میں تغیرات پیدا ہو سکتے ہیں۔ فیلڈ میں کنکٹرز کو تبدیل کرنے سے کیلیبریشن میں چند ڈگریوں کا فرق پڑ سکتا ہے۔ انسٹالیشن کے وقت، ٹول کے سائز کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے، اور بیکنگ کے عمل کی تفصیلات کو پہلے ہی جاننا ضروری ہے۔ ہم سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے لئے کیلیبریشن میپس اور ریسیپی ٹیمپلیٹس فراہم کرتے ہیں، لیکن در حقیقت انٹیگریشن، ویفر اور چیمبر کے ماحول کے مطابق ہی ممکن ہے۔