লাইনে থাকাকালীন, ফটোরেজিস্ট সামান্য পরিবর্তনও ক্ষমা করে না। যদি তাপমাত্রা ২°C পরিবর্তিত হয়, তাহলে দ্রাবকের প্রভাবে ফিচারগুলো বিকৃত হয়ে যায়। হার্ড বেকিংয়ের সময় কিনারাগুলো খুব গরম হয়ে যায়; ফলে ইটচিং প্রক্রিয়াটি ব্যাহত হয়। এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর করার জন্য আমরা ক্লিনরুমে ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
ইনফ্রারেড ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মি দিয়ে ফটোরেজিস্ট ফিল্মকে সরাসরি উত্তপ্ত করে; ফলে ক্যারিয়ারটি গরম হয় না। ওয়েফারের সারা অংশে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর বেকিংয়ের পর তাপমাত্রার পরিবর্তন হয় ±0.05°C এর মধ্যে। এই ল্যাম্পটি কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন ধরনের; এটি ক্লাস 1–100 সংগত ক্লিনরুমে স্থাপিত থাকে। পাওয়ার ডেনসিটি 150 মিমি থেকে 300 মিমি আকারের ওয়েফারগুলোর জন্য সামঞ্জস্যযোগ্য। সিস্টেমটি ২৪ ঘণ্টা চালু থাকে; ৫,০০০ ঘণ্টারও বেশি সময় পরেও আউটপুটের পরিবর্তন ৫% এর মধ্যেই থাকে।
ব্যবহারিক দিকগুলো:
ল্যাম্পটির জন্য আলাদা ক্লিনরুম পাওয়ার সার্কিট ও EMI-ফ্রি কেবলিং প্রয়োজন; যাতে এটি এক্সপোজার টুলগুলোকে প্রভাবিত না করে। ওয়েফারের আকার পরিবর্তন করার সময় সামান্য ওয়ার্ম-আপ সময় দেওয়া উচিত। ল্যাম্পটি খুব গরম ও উচ্চ-আউটপুটযুক্ত; তাই এটি ক্লিনরুম নিয়মাবলী অনুসারেই ব্যবহার করা উচিত। নিয়মিত রক্ষণাবেক্ষণ করার জন্য আমরা স্পেশাল কিট সরবরাহ করি; যাতে রক্ষণাবেক্ষণ প্রক্রিয়া বিলম্বিত না হয়।