প্যাকেজিং-এর ঠিক আগে, ওয়েফারটি চূড়ান্ত পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়া থেকে বেরিয়ে আসে; এরপরই সময় গণনা শুরু হয়। ওয়েফারের পৃষ্ঠে যদি কোনো আর্দ্রতা থাকে, তবে তা সমস্যার কারণ হয়ে দাঁড়ায়—ফলে ওয়েফারে ফাটল দেখা দেয়, এবং উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়। এমনকি সামান্যতম তাপমাত্রা পরিবর্তনও ফটোরেজিস্টের গুণমানকে ক্ষতিগ্রস্ত করতে পারে। তাই ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়াটি অবশ্যই নিয়মমাফিক হওয়া উচিত; আবার এটা প্যাকেজিং প্রক্রিয়ার গতির সাথেও সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া উচিত।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ওয়েফারের সমগ্র পৃষ্ঠে তাপমাত্রাকে ±0.1°C এর মধ্যে রাখি; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি হয় ±0.2°C এর মধ্যে। হিটারগুলো শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করে; কোয়ার্টজ উইন্ডোগুলো দিয়ে দ্রুত ও পরিষ্কারভাবে শক্তি সরবরাহ করা হয়। কার্বন-ফাইবার দিয়ে তৈরি উপাদানগুলো যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। ক্লাস 1–100 ধরনের ক্লিনরুমগুলোতে কণার পরিমাণ 0.1 μm আকারে 0.1 কণা/সেমি²-এর নিচে থাকে।
ওয়েফারটি 5,000+ ঘন্টা ধরে স্থিতিশীল অবস্থায় থাকে; তাপমাত্রার পরিবর্তন 5% এর কম হয়। নিয়ন্ত্রণটি SECS/GEM পদ্ধতিতে হয়; আর থার্মাল লুপটি 24/7 কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
কেন এটা প্রি-প্যাকেজিং-এর জন্য উপযুক্ত?
এই সিস্টেমটি প্রি-প্যাকেজিং-এর জন্যই ডিজাইন করা হয়েছে। তাপমাত্রা দ্রুত পরিবর্তিত হয়; ফলে সাইকেল টাইম কমে যায়, আর থার্মাল ব্যয়ও কমে যায়। কোনো কণা না থাকার কারণে ওয়েফারের সামনের অংশটি পরিষ্কার থাকে; আর নিয়মিত তাপমাত্রা ফটোরেজিস্টের গুণমানকে রক্ষা করে।
এটা চালানোর জন্য কী প্রয়োজন?
208–240 V ভোল্টেজের বিদ্যুৎ সরবরাহ এবং 4–6 বার চাপের পরিষ্কার, শুষ্ক বায়ু প্রয়োজন। মডিউলটি ছোট হলেও, কোয়ার্টজ উইন্ডোর চারপাশে যথেষ্ট জায়গা রাখা উচিত, যাতে বায়ু চলাচল করতে পারে। বিদ্যমান হ্যান্ডলারগুলোর সাথে এটাকে সংযুক্ত করা সহজ; কিন্তু ওয়েফারটি ঠিকমতো কাজ করছে কিনা তা নিশ্চিত করার জন্য আগে একবার টেস্ট করা উচিত।
সেটআপ করতে প্রায় দুই সপ্তাহ সময় লাগবে; এর মধ্যে SECS/GEM প্যারামিটারগুলোও সেট করতে হবে।