http://quartz-heater-source.com/cs/tags/bake/ Recent content in Bake on Your Quartz Heater Source Hugo cs Sat, 20 Jun 2026 02:20:29 +0800 http://quartz-heater-source.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:20:29 +0800 http://quartz-heater-source.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Lampa na měkké zahřívání fotorezistentu"></p> <p>V prostředí litografie víte, jak to funguje: i malá odchylka o půl stupně může způsobit problémy – vaše kritické rozměry začnou selhávat. Když se k tomu ještě přidá vznik částic, může se z dokonale dobré série výrobků stát odpad. Potřebujete zdroj tepla, který bude fungovat jako skutečný procesní parametr, a ne jen další proměnná, kterou je potřeba řešit.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> V našich lampách na změkčování fotorezisty používáme krátkovlnné infračervené zářivky s křemennými emitery. Teplo je rychlé a směrové, takže dosahujeme rovnoměrnosti na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C po celé ploše povrchu waferu. Mezi jednotlivými cykly zůstává tepelný profil konzistentní, takže kontrola expozice není otázkou odhadů.</p>