http://quartz-heater-source.com/cs/tags/odplyn%C4%9Bn%C3%AD/ Recent content in Odplynění on Your Quartz Heater Source Hugo cs Tue, 02 Jun 2026 03:59:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/cs/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:59:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/cs/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Infračervený ohřívač pro odplynění waferu"></p> <p>Na výrobní lince není pečení fotoresistu jen o dosažení teploty. Kritickým faktorem je tepelný rozpočet, který určuje kontrolu kritických rozměrů—konec. Jakmile se začne výkon degasu odchylovat, poznáte to okamžitě: okrajové kuličky, podložky, špičky částic, které promění wafery v odpad. Naše infračervené ohřívače pro wafer degas jsme navrhli tak, aby odstranily tuto nejistotu jak při soft bake, tak při hard bake, směnu za směnou.</p> <p><strong>Co má technicky význam</strong> Používáme krátkovlnné infračervené záření s rychlou odezvou a přímým přenosem energie, což zajišťuje tepelnou uniformitu na úrovni waferu v rozsahu ±0,1°C. Tělo ohřívače je vyrobeno z křemene a vysoce čisté keramiky—určeno pro čisté prostory třídy 1–100, s nulovou tvorbou částic a nízkým outgassingem. Pečicí profily zůstávají opakovatelné díky uzavřené regulační smyčce a nastavené hodnoty jsou stabilní i při nepřetržitém provozu 7×24.</p>