http://quartz-heater-source.com/cs/tags/opl%C3%A1chnout/ Recent content in Opláchnout on Your Quartz Heater Source Hugo cs Sun, 07 Jun 2026 01:32:11 +0800 http://quartz-heater-source.com/cs/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:11 +0800 http://quartz-heater-source.com/cs/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Vodotěsná infračervená lampa pro oplach"></p> <p>Na podlaze wafru není stabilita teploty při oplachu jen příjemným bonusem. Je to skutečná řídicí veličina procesu.<br> Pokud teplota oplachové vody začne kolísat, objeví se zbytky fotoresistu a ztuhlé okrajové vrstvy. Počet částic roste a kvalitní šarže končí ve šrotu. Vyvinuli jsme vodotěsnou infračervenou lampu pro oplach, která udržuje tepelnou uniformitu v oplachové zóně v rozsahu ±0,1°C, takže krok oplachu probíhá podle pevně daného receptu, nikoliv odhadu.</p> <p><strong>Co je pod kapotou</strong><br> Používá krátkovlnné infračervené emitory v uzavřeném krytu s krytím IP67, takže snese přímý postřik, kondenzaci i agresivní čisticí prostředky, aniž by docházelo ke kolísání teploty. Ohřev na úrovni waferu je opakovatelný, protože pole emitterů je uspořádáno podle geometrie substrátu, nikoliv podle upínacího přípravku.<br> Nastavili jsme hustotu výkonu a vlnovou délku tak, aby docházelo k efektivnímu přenosu energie do vody a tenkých vrstev, čímž držíme nízkou tepelnou setrvačnost. To zajišťuje rychlý, lokalizovaný ohřev bez hluku stlačeného vzduchu a bez přenosu částic od ventilátorů.</p>