Die richtige Temperatur für die Wafer erreichen: Warum Gold wichtig ist
Falls Sie schon einmal mit ungleichmäßiger Wärmeverteilung auf einem Wafer zu kämpfen hatten, wissen Sie, wie lästig das ist. Eine Seite des Wafer ist perfekt temperiert, die andere Seite hingegen nicht – plötzlich haben Sie eine Charge von Biosensoren mit unterschiedlicher Empfindlichkeit. Das ist eine Zeit- und Geldverschwendung.
Wir haben eine Lösung gefunden. Wir verwenden hochintensive Infrarotlampen in Kombination mit reflektierenden Elementen aus Gold. Die Idee ist ganz einfach: Die Energie soll genau dorthin geleitet werden, wo sie benötigt wird.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese saugen zu viel Energie auf. Gold hingegen ist äußerst reflektierend im Infrarotbereich. Dadurch wird die Wärme zurück zum Wafer reflektiert, anstatt in der Lampenhülle zu verschwinden. Dadurch wird eine viel präzisere Temperaturregulierung möglich. Man kann die Zieltemperatur viel schneller erreichen – ohne dass man die Spannung so hoch einstellen muss, dass die Glühfäden zerstört werden. Es ist also effizienter.
Das schwierige Problem: Wärmestärke
Wenn man die Strahlung so präzise lenkt, muss man vorsichtig sein. Wenn der Abstand zwischen der Lampe und dem Wafer nicht richtig eingestellt ist, entstehen intensive Hitzepunkte. Man muss also die Kalibrierung richtig vornehmen. Ist die Lampe zu nah, deformiert sich das Substrat. Zu weit entfernt? Dann verlieren Sie alle Vorteile der Goldbeschichtung. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem.
Kontinuierliche Funktionsfähigkeit
Wir haben diese Komponenten so konzipiert, dass sie direkt als Ersatz für Ihre aktuellen Infrarotarrays verwendet werden können. So müssen Sie Ihre gesamte Anlage nicht neu aufbauen. Außerdem haben wir die Enden der Lampen geschützt, damit die Steckverbinder durch die Hitze nicht beschädigt werden.
Einer Hinweis: Gold ist etwas anspruchsvoll. Wenn Sie mit korrosiven Gasen arbeiten, stellen Sie sicher, dass die Hülle luftdicht abgeschlossen ist. Andernfalls kann die Goldschicht beschädigt werden – dadurch verschlechtert sich die thermische Homogenität. Und bitte halten Sie die Komponenten sauber. Schon eine kleine Schicht Staub kann die Leistung der Lampe um 10–15 % senken. Ein schnelles Abwischen spart Ihnen viele Probleme.