Ersatzheizelement für Aixtron

Thu, 18 Jun 2026 01:18:47 +0800

Auf dem Produktionsfloor legt der Aixtron-MOCVD-Reaktor das thermische Profil fest – dieses Profil bestimmt wiederum die Qualität der einzelnen Wafer. Wenn das Heizelement anfängt, aus dem Gleichgewicht zu geraten, verschlechtert sich die Temperaturgleichmäßigkeit, die Wiederholgenauigkeit der Prozesse sinkt, und man muss wieder von vorne anfangen. Wir haben Ersatzheizelemente für Aixtron hergestellt, um dieses thermische Gleichgewicht aufrechtzuerhalten – ohne Abweichungen, ohne unerwartete Probleme.

Was technisch wichtig ist:
Dieses Heizelement ist für Temperaturen im Bereich des MOCVD-Verfahrens geeignet und ermöglicht eine schnelle Anpassung der Temperatur. Es gewährleistet eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Substrats – dadurch bleibt die Stoffzusammensetzung der Schichten konstant. Das Heizelement funktioniert auch in Umgebungen der Klasse 1–100 einwandfrei, ohne dass es zu Partikelbildung kommt. Quarz und Halogene sorgen für eine stabile Infrarotstrahlung, eine schnelle Reaktion sowie eine vorhersehbare Alterung. Die Spezifikationen entsprechen denen der Aixtron-Plattformen: Nennspannung und -leistung, Standardanschlüsse sowie Abmessungen, die problemlos in vorhandene Geräte integriert werden können.

Aixtron on Your Quartz Heater Source

Ersatzheizelement für Aixtron