Wafer Entgasungs Infrarotheizung

Tue, 02 Jun 2026 03:59:19 +0800

Auf der Fertigungsebene geht es beim Photoresist-Backen nicht nur darum, eine bestimmte Temperatur zu erreichen. Es ist das thermische Budget, das Ihre kritische Dimensionskontrolle bestimmt – Punkt. Wenn die Degas-Leistung zu schwanken beginnt, merken Sie das sofort: Randperlen, Fußbildung, Partikelspitzen, die Wafer unbrauchbar machen. Unsere Wafer-Degas-Infrarotheizungen wurden entwickelt, um diese Unsicherheiten sowohl beim Softbake als auch beim Hardbake Schicht für Schicht auszuschließen.

Technisch entscheidend ist

Wir arbeiten mit kurzwelliger Infrarotstrahlung mit schneller Reaktion und direkter Energieübertragung, sodass Sie eine thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1°C erzielen. Das Heizkörpergehäuse besteht aus Quarz und hochreiner Keramik – ausgelegt für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100, mit null Partikelgenerierung und geringem Ausgasverhalten. Die Backprofile bleiben reproduzierbar, da die Steuerung geschlossen geregelt ist, und die Sollwerte auch bei 7×24-Betrieb stabil bleiben.

Degas on Your Quartz Heater Source

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