http://quartz-heater-source.com/de/tags/fotoresist/ Recent content in Fotoresist on Your Quartz Heater Source Hugo de Sat, 20 Jun 2026 02:20:28 +0800 http://quartz-heater-source.com/de/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:20:28 +0800 http://quartz-heater-source.com/de/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Fotoresist Weichbrennlampe"></p> <p>In der Lithografie-Bereitung ist man ständig mit Schwankungen konfrontiert: Selbst eine Abweichung von nur einem halben Grad kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen nicht mehr eingehalten werden können. Wenn noch dazu Partikel entstehen, kann aus einem eigentlich guten Produkt Schrott werden. Man braucht daher eine Wärmequelle, die sich wie ein echter Prozessparameter verhält – und nicht als weitere Variable, die berücksichtigt werden muss.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahlung mit Quarzemittlern in unseren Lichtquellen für die Weichbehandlung des Fotolacks. Die Wärmeentwicklung ist schnell und gerichtet – dadurch wird eine Homogenität auf der gesamten <a href="https://o-yate.com">Oberfl</a>äche des Wafer erreicht, mit einer Abweichung von ±0,1°C. Von Durchlauf zu Durchlauf bleibt das thermische Profil konstant, sodass die Exponierungsparameter nicht mehr schätzen müssen.</p>