http://quartz-heater-source.com/de/tags/individuell-anpassbar/ Recent content in Individuell Anpassbar on Your Quartz Heater Source Hugo de Fri, 19 Jun 2026 02:29:42 +0800 http://quartz-heater-source.com/de/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Fri, 19 Jun 2026 02:29:42 +0800 http://quartz-heater-source.com/de/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Individueller Infrarotheizer für Wafer"></p> <p>In der Lithografie ist das Erhitzen des Fotoresists keine Empfehlung – es handelt sich dabei um eine notwendige Voraussetzung. Eine Abweichung von 0,5 °C kann bereits Auswirkungen auf die Kontrolle der kritischen Dimensionen haben. Zudem führt die Unregelmäßigkeit in den heißen Bereichen dazu, dass die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Man benötigt daher Heizgeräte, die genauso funktionieren wie die Geräte des Herstellers – ohne dass man an einen bestimmten Lieferanten gebunden ist.</p> <p>Wir entwickeln maßgeschneiderte Infrarotheizgeräte für die thermische Kontrolle von Wafern. Diese Geräte sorgen dafür, dass die Temperatur auf dem Waferoberflächen innerhalb von ±0,1 °C bleibt. Die Genauigkeit der Einstellungen ist ausreichend hoch, um Ihre thermischen Anforderungen zu erfüllen. Wir verwenden Nahinfrarotstrahler, da diese die Energie direkt in den Wafer übertragen – dadurch ist die Reaktionszeit kurz, und es gibt kaum Verzögerungen zwischen Befehl und Ergebnis.</p>