Heizgerät für die Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren

Fri, 26 Jun 2026 01:40:35 +0800

Auf der Produktionsfläche wird die Genauigkeit in Grad ausgedrückt – ganz einfach. Eine Abweichung von 0,5 °C während des Weichbrennvorgangs des Fotolacks oder ein kühler Bereich auf der Waferoberfläche während der Aushärtung können dazu führen, dass kritische Abmessungen beeinträchtigt werden, die Anzahl der Partikel steigt und gute Bauteile unbrauchbar werden. Wir haben Heizelemente aus Kohlenstoffnanoröhren entwickelt, um diese thermischen Unsicherheiten aus dem Prozess zu eliminieren.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben Heizelemente aus Kohlenstoffnanoröhren gewählt, weil sie schnell reagieren, lokalisiert wirken und eine stabile Ausstrahlungsleistung bieten. In Kombination mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung kann so Energie effizient übertragen werden. Das Ergebnis ist eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1 °C in der aktiven Zone sowie eine Wiederholgenauigkeit von ±0,2 °C. Die Steuerung sorgt dafür, dass die Temperatur im gewünschten Bereich bleibt, ohne dass es zu Überhitzungen kommt. Zudem bleibt die Stabilität auch während langen Brenn- und Aushärtevorgängen erhalten. Das Design erzeugt keine Partikel und eignet sich für Reinraumklassen 1–100. Die Schließschleife sorgt dafür, dass das System Schicht für Schicht weiterhin ordnungsgemäß funktioniert, ohne unerwartete Ausfälle.

Nanoröhre on Your Quartz Heater Source

Heizgerät für die Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren