Temperatursensor für Wafernwerkzeuge

Sun, 26 Jul 2026 13:35:06 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Lampenversagen Ihre Produktionsprozesse zerstören
In einer Anlage mit hohem Ausstoß an Wafern ist das Ausbrennen einer Lampe ein echtes Problem. Doch wenn die Quarztube tatsächlich platzt, dann ist das ein Albtraum. In solchen Fällen fallen Glasscherben sowie chemische Rückstände direkt auf die Wafern. Ein einziger solcher Vorfall reicht aus, um die ganze Charge als unbrauchbar zu betrachten. Wir haben unsere Infrarotlampen so konstruiert, dass so etwas niemals passiert.

Vermeidung von Unordnung
Wir verlassen uns nicht einfach darauf, dass das Glas halten bleibt. In den Bereichen mit hohem Energieverbrauch umhüllen wir die Heizelemente mit einer verstärkten Hülle. Das fungiert wie eine Art Schutzschicht. Wenn die innere Lampe durch die Hitze beschädigt wird, fangen die Scherben in der Hülle auf. Dadurch bleiben die Wafern sauber. So einfach ist das.

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