Sauber on Your Quartz Heater Source

Heizer für Transportwagen in Halbleiterreinräumen

Sat, 25 Jul 2026 02:30:27 +0800

Die Wafer warm halten: Warum wir auf Infrarotheizung für unsere Transportwagen umgestiegen sind
Wenn man Wafer zwischen den Verarbeitungsstationen transportiert, ist die Temperatur entscheidend. Lange Zeit wurden dazu Konvektionsöfen verwendet – doch ehrlich gesagt: Das ist völlig nutzlos. Man heizt schließlich den ganzen Raum auf, nur um ein paar Wafer warm zu halten.

Deshalb haben wir an unseren Transportwagen Infrarotlampen eingebaut. Das ist eine viel effektivere Lösung.

Energie sparen – ohne Probleme
Infrarotheizung funktioniert durch Strahlung. Anstatt die Luft um den Transportwagen zu erhitzen, lenken wir die Wärme direkt auf den Waferträger. Das ist ein großer Vorteil für alle, die versuchen, eine „grüne“ Fabrik zu errichten. So können wir viel Energie verschwenden. Zudem erreichen diese Lampen ihre Zieltemperatur in Sekundenschnelle. Man muss das System nicht ständig laufen lassen, nur um einen langen Aufwärmvorgang zu vermeiden. Einfach genial.

Infrarotheizer für Saalreinräume

Sun, 19 Jul 2026 09:14:43 +0800

Hören Sie auf zu raten – eine bessere Methode zur Steuerung der Temperatur in intelligenten Fertigungsanlagen

Wenn Sie eine digitalisierte Fertigungsanlage im Stil von Industry 4.0 errichten, wissen Sie vermutlich bereits, dass herkömmliche Konvektionsheizsysteme nicht mehr ausreichen. Sie sind einfach zu langsam und unpräzise.

Deshalb greifen wir auf Infrarotheizsysteme zurück. Der Vorteil dabei ist, dass die Heizquelle nicht an die Umgebungsluft gebunden ist. Wenn Sie die Partikelzahl in Ihrem Reinraum unter Kontrolle halten möchten, aber dennoch eine schnelle Erhöhung der Temperatur benötigen, dann ist dies tatsächlich die einzige Möglichkeit.

Aufrüstung der Ausrüstung für Reinräume in der Fabrik

Fri, 10 Jul 2026 01:56:10 +0800

Hören Sie auf, Energie in Ihrer Waferfertigung zu verschwenden!
Wenn Sie Ihre Fertigungsanlage aufrüsten, wissen Sie doch, dass das Verschwenden von Energie im Grunde genommen bedeutet, Geld wegzuwerfen. Wenn man die Wafer erhitzt, braucht man nicht nur „viel Wärme“ – man braucht auch Energie, die tatsächlich die Oberfläche der Wafer erreicht.

Das Problem: Die meisten herkömmlichen Quarzlampen sind unpräzise bei der Energieabgabe. Sie geben Energie in alle Richtungen ab – dadurch erreicht viel dieser kostbaren Energie gar nicht das Ziel. Deshalb verwenden wir reflektierende Elemente, die mit Gold überzogen sind. Auf diese Weise werden die Energieverluste minimiert.

Infrarotlampe für Reinraumbänke

Fri, 03 Jul 2026 03:33:50 +0800

Im Produktionsprozess verzeiht der Fotorezyst nicht kleine Abweichungen. Bei einer Temperaturerhöhung von 2°C entstehen Verformungen der Strukturen – das liegt an der Retention des Lösungsmittels nach der Belichtung. Bei einer hohen Temperatur am Rand der Wafer beginnt das Ätzenprofil zusammenzubrechen. Deshalb installieren wir in der Reinräumumgebung eine Infrarotlampe, um diese Abweichungen auszugleichen.

Was wirklich wichtig ist:
Die NIR-Lampe strahlt kurzwelliges Infrarot direkt auf die Fotorezystschicht ab – dadurch wird nur der Fotorezyst erhitzt, nicht der Trägermaterial. Auf der gesamten Oberfläche der Wafer bleibt die gewünschte Temperatur innerhalb von ±0,1°C konstant. Die Wiederholgenauigkeit beträgt ±0,05°C pro Prozesszyklus. Der Emitter besteht aus Quarz-Halogen und ist in einem für Reinräume der Klasse 1–100 geeigneten Gehäuse untergebracht – dadurch entstehen keine Partikel im laminaren Luftstrom. Die Leistungsintensität kann für Wafer mit einer Dicke von 150 mm bis 300 mm angepasst werden. Die Steuerung der Temperatur sorgt dafür, dass auch dünne Schichten bei beiden Arten der Erhitzung intakt bleiben. Das System arbeitet rund um die Uhr ohne Ausfälle – die Abweichungen liegen nach 5.000+ Stunden bei weniger als 5%.

Ofen mit Infrarotheizung für Saalreinräume

Tue, 30 Jun 2026 01:47:38 +0800

In der Lithografie-Abteilung lernt man schnell, dass bereits eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad dazu führt, dass sich das Profil des Fotolithografie-Materials verändert. Wenn die Erwärmung an den Rändern zu stark ist, treten Unreinheiten auf. In einem Reinraum der Klasse 1–100 kann bereits ein einziger Partikel aus dem Heizer dazu führen, dass ganze Produktchargen unbrauchbar werden. Deshalb haben wir den Ofen mit Infrarotheizern ausgestattet – diese sorgen dafür, dass die Wärme nur dort entsteht, wo sie benötigt wird, also auf dem Wafer, und nicht im gesamten Raum verteilt wird.