Infrarotheizer für Vakuumkammern

Thu, 16 Jul 2026 01:34:09 +0800

Hören Sie auf, Zeit zu verschwenden: Warum Vakuum-Infrarotheizungen tatsächlich funktionieren
Wenn Sie bereits Erfahrung im Halbleiterbereich haben, kennen Sie sicherlich die Frustration, wenn man auf das Erreichen der richtigen Temperatur des Wafern warten muss. Lange Zeit wurde dazu heiße Luft in den Behälter gepumpt. Das funktionierte zwar, war aber sehr langsam. Und ehrlich gesagt: Die Temperaturverteilung war niemals perfekt.

Deshalb ist der Umstieg auf Vakuum-Infrarotheizungen eine große Erleichterung. Anstatt auf Luft zu setzen, um Wärme zu übertragen, nutzt die Infrarotheizung Strahlungsenergie. Die Energie trifft direkt auf das Substrat.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Wed, 15 Jul 2026 10:45:17 +0800

Kohlenstoffreduzierung bei Halbfertigprodukten: Warum Vakuum-IR die richtige Lösung ist
Wer schon einmal in einem Reinraum gearbeitet hat, kennt das Problem: Es wird eine absolute Präzision bei der Erwärmung erforderlich – doch dies muss unter Vakuum geschehen, damit durch Oxidation oder andere Verunreinigungen nichts kaputtgeht.

Lange Zeit haben wir uns auf herkömmliche Widerstandsofen verlassen. Doch das hat einen Haken: Sie verbrauchen viel Energie – die Hälfte der Energie wird dazu verwendet, die Luft sowie die Wände des Ofens zu erhitzen, anstatt die Wafer selbst.

Vakuum on Your Quartz Heater Source

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer