Fabricación de carcasa de calentador de acero inoxidable

Tue, 09 Jun 2026 01:13:44 +0800

En la planta de litografía, el fotoresistente no perdona desviaciones. Un cambio de 2°C en el perfil de soft bake o hard bake provoca que el control de dimensión crítica se desvíe, y entonces la línea se detiene. Construimos la carcasa del calentador en acero inoxidable para fábricas de obleas donde la estabilidad térmica no es un “lujo”. Es el proceso.

Lo que importa bajo la cubierta
La carcasa cuenta con un exterior en acero inoxidable de alta pureza y electropulido, con un diseño interno del calentador ajustado para uniformidad a nivel de oblea—±0.1°C en toda la superficie de horneado. Sensores NIR integrados y una ruta de control sellada mantienen la repetibilidad del punto de consigna estricta, por lo que cada soft bake y hard bake se realiza consistentemente en el mismo punto, ciclo tras ciclo. Está clasificada para salas limpias Clase 1–100 y diseñada para minimizar partículas: uniones lisas, emisión mínima de gases y una superficie resistente a protocolos agresivos de limpieza húmeda. La potencia se adapta a las utilidades de la fábrica, y las interfaces se conectan a plataformas estándar de manejo de obleas sin necesidad de modificaciones.

Inoxidable on Your Quartz Heater Source

Fabricación de carcasa de calentador de acero inoxidable