گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
چرا بر روی آزمایشهای عایقبندی برای هیترهای ویفر تمرکز میکنیم؟
وقتی که ویفرها را در محیط با فشار خلأ بالا کار میدهیم، هیچ جایی برای اشتباه وجود...
سنسور دما برای ابزار ویفر
دیگر اجازه ندهید که خرابی لامپها، کل محصولات شما را نابود کند!
در سیستمهای تولیدی با حجم بالا، خرابی لامپ میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند؛ اما اگر...
سنسور مادون قرمز با دقت بالا برای ویفرها
کاهش انتشار کربن در کارخانههای تولید نیمههادی: چرا استفاده از لامپهای مادون قرمز دقیق راه حل مناسبی است؟
امروزه همه درباره برابری کربنی در طراحی...
فاصله ایمن برای گرم کردن ویفر
چگونه از حرارت دادن ویفرهای سیلیکونی بهترین استفاده را ببریم؟
وقتی که میخواهید ویفرهای سیلیکونی را گرم کنید، مسئله فقط افزایش دما نیست؛ بلکه مهم این...
گرمکن خشککن ویفر حسگر MEMS
دیگر وقت خود را صرف خشک کردن ویفرهای MEMS نکنید!
اگر هنوز از هوای داغ برای خشک کردن ویفرها پس از فرآیندهای اتشزنی یا تمیزکاری استفاده میکنید، در...
ریفلکتور برای لامپ خشککن ویفر
مقدمه
بیایید واقعبینانه درباره آنچه در خطوط تولیدی با بار سنگین رخ میدهد، صحبت کنیم. خرابی لامپ یک مشکل است؛ اما آنچه واقعاً باعث کاهش بازدهی تولید...
عنصر گرمایشی اکسیداسیون ویفر
مقدمه
ما عناصر گرمایشی برای فرآیند اکسیداسیون ویفرها تولید میکنیم؛ لامپهای هالوژنی کوارتزی که قابلیت تولید حرارت مستقیم و با شدت بالا را دارند. در...
عنصر گرمایشی فر خشککن ویفر
مقدمه
بیایید درباره عواملی که باعث کارکرد صحیح این فرها میشوند، صادقانه صحبت کنیم. ما از لامپهای عادی استفاده نمیکنیم؛ بلکه عنصر گرمایشی را از...
هیتر سیستم خشککن ویفر صنعتی
در کارخانههای تولید، یک ذره به اندازه کمتر از ۱ نانومتر میتواند در عرض چند ثانیه، ویفر ۳۰۰ میلیمتری را از بین ببرد. هیترهای قدیمی دارای نوسانات...
گرمکن مادون قرمز سفارشی برای ویفرها
در فرآیند لیتوگرافی، حرارتدهی به فوتورزیست یک اختیار نیست، بلکه یک شرط ضروری است. تغییر دما در محدوده ۰.۵ درجه سانتیگراد میتواند بر کنترل ابعاد...
هیتر مادون قرمز تخلیه گاز ویفر
Out on the fab floor, the photoresist bake isn’t just about hitting a temperature. It’s the thermal budget that sets your critical dimension...
مادون قرمز در مقابل همرفت برای خشک کردن ویفر
در بخش تولید، لکههای آب پس از شستشو یا حبس حلال در فوتورزیست فقط نقصهای جداگانه نیستند. این لکهها بهتدریج باعث انحراف در عرض خطوط، افزایش شمار...