http://quartz-heater-source.com/fa/tags/soft/ Recent content in Soft on Your Quartz Heater Source Hugo fa Sat, 20 Jun 2026 02:20:28 +0800 http://quartz-heater-source.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:20:28 +0800 http://quartz-heater-source.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="لامپ پخت ملایم فوتورزیست"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، همان‌طور که می‌دانید، حتی کوچکترین تغییر در دما می‌تواند باعث اختلال در فرآیند شود. اگر به این مسئله، تولید ذرات نیز اضافه شود، محصولات با کیفیت بالا نیز ممکن است به ضایعات تبدیل شوند. بنابراین، نیاز به منبع حرارتی وجود دارد که مانند یک پارامتر واقعی عمل کند، نه یک متغیر دیگر که باید آن را کنترل کرد.</p> <p><strong>چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟</strong> ما از لامپ‌های IR با امیترهای کوارتزی برای فرآیند گرم کردن فوتورزیست استفاده می‌کنیم. این لامپ‌ها حرارت را به سرعت و در جهت مشخصی ایجاد می‌کنند؛ در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود. همچنین، پروفایل حرارتی در هر بار استفاده از لامپ یکسان باقی می‌ماند؛ بنابراین، کنترل دما دیگر مشکل‌ساز نخواهد بود.</p>