Maintenir les wafer à température constante : pourquoi nous avons opté pour le chauffage par rayonnement infrarouge pour nos chariots
Lorsque l’on déplace des wafer entre différentes étapes de traitement, la température est cruciale. Pendant longtemps, on utilisait des fours à convection, mais en réalité, c’est un gaspillage énergétique. On finit par chauffer toute la pièce juste pour maintenir quelques wafer à bonne température.
C’est pourquoi nous avons commencé à utiliser des lampes à rayonnement infrarouge sur nos chariots de laboratoire. C’est une manière bien plus efficace de gérer cette situation.
Économiser de l’énergie sans complications
Le principe du chauffage par rayonnement infrarouge est simple : il fonctionne par radiation. Au lieu de chercher à chauffer l’air autour du chariot, on dirige directement la chaleur vers le support des wafer. C’est un vrai avantage pour ceux qui veulent créer une usine « verte ». Nous avons ainsi pu réduire considérablement les pertes d’énergie inutiles. De plus, ces lampes atteignent leur température cible en quelques secondes seulement. Il n’est pas nécessaire de laisser le système fonctionner 24/7 pour éviter un long temps d’attente avant que les wafer ne soient prêts. Il suffit de l’allumer, et ça marche. Simple.
Les détails techniques
Généralement, nous utilisons des éléments en quartz à ondes courtes. Ils permettent au chauffage de pénétrer plus rapidement dans le matériau, ce qui permet de garder l’équipement compact et de l’installer facilement sur le châssis du chariot. Nous passons aussi beaucoup de temps à ajuster les distances focales, car si la chaleur n’est pas répartie uniformément sur les wafer, tout le processus devient inutile.
Mais il faut être prudent : veillez à ne pas surcharger le système en termes de consommation d’énergie. Ces lampes peuvent consommer beaucoup d’électricité. Si vous ne faites pas attention, vous risquez de endommager les circuits électriques locaux. Assurez-vous donc que vos câbles et votre alimentation électrique sont suffisamment solides pour supporter cette charge maximale avant d’allumer le système.
La difficulté principale
Le chauffage par rayonnement infrarouge est rapide, mais il est également très intense. Il crée des zones chaudes très intenses. Si le chariot n’est pas correctement protégé, cela peut entraîner le réchauffement de l’air dans la salle de laboratoire, ou pire, la destruction d’un capteur sensible situé sur le chariot lui-même.
Pour résoudre ce problème, nous utilisons des revêtements réfléchissants. Ils renvoient la chaleur vers l’objet à chauffer, permettant ainsi de maintenir l’équipement à température basse. C’est un peu un équilibre à trouver : on veut une montée en température rapide, mais il faut aussi veiller à bien protéger l’équipement.