בתהליך הליתוגרפיה, חימום הפוטורזיסט אינו עניין של בחירה – זו דרישה הכרחית. שינוי של 0.5°C בטמפרטורה ישפיע על שליטה בממדים הקריטיים של הווה, וחוסר אחידות באזורים החמים עלול לפגוע באיכות המוצר. יש צורך במספק חום שיפעל כמו זה של היצרן המקורי, מבלי לכפות עליכם שימוש בספק מסוים.
אנו מייצרים מספקי חום באינפרא-אדום לשליטה תרמית ברמת הווה, והם מיועדים לחימום הפוטורזיסט בשיטות שונות. המערכת משמרת על אחידות הטמפרטורה ברמה של ±0.1°C, והדיוק בהגדרת טמפרטורת החימום מספיק גבוה כדי לשמור על איכות המוצר. אנו משתמשים בגופי פליטה באינפרא-אדום, מכיוון שהם מעבירים אנרגיה ישירות אל הווה – התגובה מהירה, ויש עיכוב מינימלי בין הפקודה לתוצאה.
הציוד תואם לתנאי חדר נקי מסוג 1–100, וכל החיבורים מעוצבים כך שלא ייווצרו חלקיקים. צפיפות האנרגיה, המתח והממדים מוגדרים כך שיתאימו לדרישות התא והחיבורים שלכם, כך שהציוד יכול להיות משולב במערכת התרמית שלכם ללא צורך בעבודות תיקון.
אנו מוודאים את הביצועים של הציוד לפי התקנים הבינלאומיים לציוד חצאי מוליכים, ומספקים נתוני מדידה – מפות אחידות, זמן החימום, יציבות תחת עומס. כך ניתן לעקוב אחר הביצועים של הציוד, ולא להסתמך על השערות בלבד. התוצאה: פרופילי חימום יציבים, פחות פסולת, ואפשרות לתכנן את זמני התחזוקה.
ההתקנה פשוטה, אך יש להתייחס לחיבורים התרמיים כאל נקודות שליטה קריטיות. יש לוודא את ההתאמה המכאנית ואת לחץ החיבורים, כדי שהאטימה תישמר; אפילו דליפות קטנות עלולות לפגוע בביצועי הציוד. יש לתכנן ניסויי הפעלה קצרים כדי לשפר את התאמת הציוד לתנאים שלכם.