מנורת אפייה עדינה לטיפול בחומרי פוטורזיסט

בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, יש צורך בחימום מדויק – אפילו של חצי מעלה בלבד. אם החימום אינו מדויק, הממדים הקריטיים של החומר עלולים להשתנות....