http://quartz-heater-source.com/he/tags/%D7%A4%D7%A8%D7%95%D7%A1%D7%94/ Recent content in פרוסה on Your Quartz Heater Source Hugo he Mon, 01 Jun 2026 17:58:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/he/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 17:58:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/he/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="תת אדום לעומת הסעה ליבוש וופרים"></p> <p>על רצפת המפעל, סימני מים לאחר ניקוי או ממס הכלואים בפוטורזיסט אינם רק פגמים מבודדים. הם מתפתחים—לחריגות ברוחב הקו, ספירת חלקיקים ופסולת. שלב החימום התרמי שמוציא לחות ומייצב את הסרט אינו רעש רקע. זהו נקודת בקרה שאי אפשר להתייחס אליה כאופציונלית.</p> <p><strong>מה שחשוב, מבחינה טכנית</strong><br> ייבוש IR מכניס אנרגיה ישירות לתוך המשטח והסרט הנוזלי הדק, לא לאוויר בתא. זה מאפשר תגובה תרמית מהירה יותר ושליטה מדויקת בטמפרטורה, כך שניתן להסיר לחות במהירות ובאופן חוזר בלי לעבור את תקציב הטמפרטורה של הפוטורזיסט.<br> חימום באמצעות קונבקציה מסתמך על תנועת אוויר ומסת חום, מה שמוסיף עיכוב ועלול ליצור אזורי חום מקומיים. כאשר טמפרטורות ה־soft bake וה־hard bake חייבות להישמר בטולרנסים צמודים, IR מספק אחידות ברמת המשטח שקשה להשיג עם קונבקציה. אנו בונים את המערכות לתפעול בחדר נקי Class 1–100, עם אפס יצירת חלקיקים ויציבות טמפרטורה של ±0.1°C על פני אזור התהליך.</p>