http://quartz-heater-source.com/he/tags/soft/ Recent content in Soft on Your Quartz Heater Source Hugo he Sat, 20 Jun 2026 02:20:29 +0800 http://quartz-heater-source.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:20:29 +0800 http://quartz-heater-source.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="מנורת אפייה עדינה לטיפול בחומרי פוטורזיסט"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, יש צורך בחימום מדויק – אפילו של חצי מעלה בלבד. אם החימום אינו מדויק, הממדים הקריטיים של החומר עלולים להשתנות. בנוסף, ישנו גם סיכון של יצירת חלקיקים בחומר, מה שעלול לגרום לכך שחומר תקין יהפוך לחומר לא תקין. יש צורך במקור חום שיפעל כפרמטר אמיתי של התהליך, ולא כמשתנה נוסף שצריך לנתב.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בגלי אינפרא-אדום קצרים עם גופי פליטה מקוורץ במנורות החימום שלנו. החום שנוצר הוא מהיר וממוקד, וכך ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על פני כל שטח החימום. הפרופיל התרמי נשאר יציב מפעם לפעם, כך שאין צורך לנחש את הערכים הנדרשים. המערכת מיועדת לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1–100: חומרים שאינם פולטים גזים, אין יצירת חלקיקים, ומסלול אופטי סגור שמונע זיהום בתהליך. יש גם בקרת טמפרטורה אינטגרלית, כך שהטמפרטורה נשארת יציבה. העיצוב מאפשר פעולה 24/7 ללא הפסקות בלתי צפויות.</p>