वेफरों को गर्म रखना: हमने अपने ट्रॉलियों में आईआर हीटिंग क्यों इस्तेमाल की?
जब वेफरों को एक प्रसंस्करण चरण से दूसरे चरण में ले जाया जाता है, तो तापमान बहुत ही महत्वपूर्ण होता है। लंबे समय तक, कंवेक्शन ओवनों का ही उपयोग किया गया, लेकिन वास्तव में ये बेकार ही हैं… क्योंकि कुछ ही वेफरों को गर्म रखने हेतु पूरे कमरे को ही गर्म करना पड़ता है।
इसी कारण हमने अपने क्लीनरूम ट्रॉलियों में इन्फ्रारेड (IR) लैंपों का उपयोग शुरू किया। यह तो चीजों को संभालने का बहुत ही बेहतर तरीका है।
ऊर्जा बचाना, बिना किसी परेशानी के
इन्फ्रारेड लैंप विकिरण के माध्यम से ही काम करते हैं… ट्रॉली के आसपास की हवा को गर्म करने की बजाय, हम सीधे ही वेफरों पर ही गर्मी डालते हैं। यह “हरित” कारखाने बनाने वालों के लिए बहुत ही अच्छा विकल्प है… क्योंकि इससे बहुत सारी ऊर्जा बच जाती है। इसके अलावा, ये लैंप कुछ ही सेकंडों में अपने लक्षित तापमान तक पहुँच जाते हैं… इसलिए लंबे समय तक सिस्टम को चालू रखने की आवश्यकता ही नहीं है।
हार्डवेयर संबंधी जानकारी
हम आमतौर पर शॉर्टवेव क्वार्ट्ज तत्वों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ये तत्व सामग्री में जल्दी ही प्रवेश कर जाते हैं… इससे हम ट्रॉली के चेसिस पर हार्डवेयर को छोटा एवं सुव्यवस्थित रख सकते हैं। हम फोकल लंबाई को भी समायोजित करने में बहुत समय लगाते हैं… क्योंकि यदि गर्मी वेफरों पर समान रूप से न फैले, तो पूरी प्रक्रिया ही व्यर्थ हो जाती है।
लेकिन एक बात ध्यान रखने योग्य है… इन लैंपों से बहुत अधिक ऊर्जा खपत होती है… इसलिए अपने केबलों एवं बिजली सप्लाई को उचित स्तर पर ही रखें।
कठिनाइयाँ
इन्फ्रारेड लैंप तो तेज़ ही काम करते हैं… लेकिन ये बहुत ही आक्रामक भी होते हैं… इनसे गर्म “जोन” बन जाते हैं… यदि ट्रॉली को ठीक से सुरक्षित न रखा जाए, तो क्लीनरूम की हवा गर्म हो जाएगी… या फिर ट्रॉली पर लगे सेंसर भी नष्ट हो सकते हैं।
इस समस्या को दूर करने हेतु हम परावर्तक पदार्थों का उपयोग करते हैं… ये पदार्थ गर्मी को वापस काम करने वाली सामग्री की ओर ही भेजते हैं… इससे हार्डवेयर ठंडा ही रहता है… यह तो एक तरह का संतुलन ही है… आपको तो तेज़ गति से काम करने का लाभ मिलता है… लेकिन इसके लिए सुरक्षा व्यवस्था भी आवश्यक है।