Mendapatkan panas di tempat yang benar-benar diperlukan
Saat Anda mengeringkan wafer atau mengeraskan bahan fotoresist, yang Anda inginkan bukan sekadar “panas”. Yang Anda inginkan adalah foton-foton yang sampai ke permukaan wafer tepat di tempat yang diperlukan.
Masalahnya adalah lampu IR biasa tidak efisien. Lampu tersebut memancarkan energi ke segala arah. Jika Anda tidak memiliki cara untuk mengarahkan energi tersebut, maka energi tersebut akan terbuang sia-sia untuk memanaskan komponen mesin, bukan permukaan wafer. Ini merupakan pemborosan energi dan waktu.
Mengapa kita menggunakan emas
Untuk mencegah pemborosan energi ini, kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Emas digunakan bukan hanya untuk penampilan saja. Dalam spektrum inframerah, emas mampu memantulkan energi lebih banyak dibandingkan aluminium atau baja yang telah dipolis. Dengan menggunakan lapisan emas berkualitas tinggi pada bagian luar mesin, kita dapat menangkap radiasi yang tidak menuju ke arah yang benar, lalu memantulkannya kembali ke permukaan wafer. Dengan demikian, intensitas panas di permukaan wafer meningkat, tanpa perlu meningkatkan daya listrik yang digunakan.
Kecepatan vs. Stabilitas
Inilah hal yang menarik. Karena energi yang digunakan sangat terfokus, suhu target dapat dicapai dengan lebih cepat. Waktu pengolahan pun menjadi lebih singkat. Namun, ada risikonya. Jika terlalu banyak energi yang dialirkan ke wafer yang tipis, maka permukaan wafer akan rusak. Itulah sebabnya kita menggunakan kontroler IR digital. Sistem ini memungkinkan pengaturan daya secara real-time, sehingga suhu wafer tetap terkontrol dan komponen-komponen mesin tidak rusak.
Kompromi dalam penggunaan emas
Masalahnya adalah emas bersifat lunak. Emas tidak tahan terhadap gesekan. Jika petugas pemeliharaan menggunakan alat abrasif saat membersihkan mesin, lapisan emas akan rusak. Setelah itu, efisiensi mesin akan menurun. Selain itu, kita juga perlu memperhatikan masalah panas yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Meskipun emas membantu mengarahkan energi ke arah yang benar, lampu tersebut tetap akan menjadi sangat panas. Kita perlu menggunakan kipas pendingin atau heat sink yang sesuai untuk menangani beban panas yang tinggi tersebut. Jika tidak, komponen elektronik di dalam mesin akan rusak. Sangat sederhana.