http://quartz-heater-source.com/id/tags/bangku/ Recent content in Bangku on Your Quartz Heater Source Hugo id Fri, 03 Jul 2026 03:33:50 +0800 http://quartz-heater-source.com/id/posts/clean-room-bench-infrared-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 03:33:50 +0800 http://quartz-heater-source.com/id/posts/clean-room-bench-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Lampu inframerah untuk meja di ruang bersih"></p> <p>Di lapangan, fotoresist tidak mentolerir adanya penyimpangan kecil sekalipun. Jika suhu pengeringan berubah sebesar 2°C, maka akan terjadi distorsi pada struktur permukaan chip setelah proses eksposur. Suhu yang terlalu tinggi di bagian tepi chip juga dapat menyebabkan kerusakan pada struktur permukaannya. Kita menggunakan lampu inframerah di area pembersihan agar variasi suhu tersebut dapat dikendalikan.</p> <p><strong>Yang penting adalah presisi termalnya</strong><br> Lampu NIR menghasilkan sinar inframerah berfrekuensi rendah yang langsung memanaskan <a href="https://o-yate.com">lapisan</a> fotoresist, bukan bahan pembawa muatan di dalamnya. Dengan demikian, suhu di seluruh permukaan wafer tetap stabil dalam rentang ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitasnya <a href="https://o-yate.net">mencapai</a> ±0,05°C antara satu proses pengeringan dan proses pengeringan berikutnya. Emitor lampu berbahan kuarsa-halogen, dan dipasang dalam ruang pembersihan kelas 1–100 yang bebas dari partikel debu. Intensitas daya lampu dapat disesuaikan untuk wafer berdiameter 150 mm hingga 300 mm. Sistem ini dapat beroperasi secara kontinu tanpa gangguan, dan penyimpangan suhu tetap di bawah 5% setelah 5.000 jam operasi.</p>