Fornitore di riscaldatori a semiconduttore

Mon, 08 Jun 2026 02:50:31 +0800

Sulla linea di litografia, si impara rapidamente che uno scostamento di mezzo grado nel soft bake si traduce in una variazione della larghezza delle linee sul wafer. E se l’hard bake non è uniforme, si verifica scumming che può compromettere ore di lavoro. La stabilità termica non è un “optional”. È il processo.

Ciò che conta davvero
Progettiamo riscaldatori che rispettano i principali standard per le apparecchiature semiconduttori e manteniamo l’uniformità termica a livello wafer entro ±0,1°C. Il design utilizza elementi a infrarossi a onde corte, garantendo una risposta rapida e ripetibile. Offriamo opzioni in quarzo e fibra di carbonio, dimensionate in base alla geometria della camera e al profilo di tensione.

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