Involucro del riscaldatore in acciaio inossidabile fab

Tue, 09 Jun 2026 01:13:44 +0800

Sulla linea di litografia, il photoresist non tollera derive. Uno scostamento di 2°C nel profilo di soft bake o hard bake compromette il controllo della dimensione critica—poi la produzione si blocca. Abbiamo realizzato l’alloggiamento del riscaldatore in acciaio inox per wafer fab dove la stabilità termica non è un “optional”. È il processo.

Cosa conta sotto la scocca
L’alloggiamento presenta un esterno in acciaio inox elettrolucidato ad alta purezza con un layout interno del riscaldatore tarato per uniformità a livello wafer—±0,1°C su tutta la superficie di cottura. Sensori NIR integrati e un percorso di controllo sigillato mantengono la ripetibilità del setpoint precisa, così ogni soft bake e hard bake avviene sempre nello stesso intervallo, ciclo dopo ciclo. È classificato per camere bianche Class 1–100 e progettato per minimizzare le particelle: giunzioni lisce, emissione di gas minima e superficie resistente ai protocolli di lavaggio aggressivi in umido. La potenza è allineata alle utility del fab, e le interfacce si integrano con le piattaforme standard di movimentazione wafer senza richiedere modifiche.

Inossidabile on Your Quartz Heater Source

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